Phun phủ.PVD
1. Lớp phủ phún xạ magnetron tốt hơn nhiều so với lớp phủ ion hồ quang và có ít hạt giọt thô hơn.
2. Lực liên kết màng-chất nền tốt hơn so với lớp phủ bốc hơi chân không. Trong công nghệ phủ bốc hơi chân không, năng lượng của các nguyên tử trong lớp màng chỉ là năng lượng nhiệt được mang theo trong quá trình bốc hơi, tương đương với 00,1~0,2eV; trong khi trong công nghệ phủ phun magnetron, năng lượng của các hạt lớp màng được tạo ra bởi các ion argon và các nguyên tử bề mặt của mục tiêu. Sự trao đổi và trao đổi động lượng có thể cải thiện lực liên kết màng-chất nền.
3. Thành phần của lớp màng gần với vật liệu mục tiêu. Lớp màng của quá trình phún xạ magnetron được phún xạ từ mục tiêu bằng các ion argon, và thành phần của lớp màng rất gần với thành phần của vật liệu mục tiêu. Hiện tượng "phân đoạn" hoặc "phân hủy" kết quả tương đối nhẹ so với mạ bốc hơi. Tuy nhiên, nói chung khi phủ một lớp màng chức năng có yêu cầu hiệu suất rất nghiêm ngặt, phải thêm một lượng khí phản ứng nhất định trong quá trình phún xạ để làm cho thành phần màng hợp chất của màng đáp ứng tỷ lệ thành phần hóa học để đảm bảo yêu cầu hiệu suất của màng.
4. Lớp phủ có hiệu suất phủ tốt. Áp suất chân không của lớp phủ phun thấp. Đường đi tự do của các phân tử khí ngắn, xác suất va chạm cao và so với lớp phủ bay hơi, khả năng phân tán của các hạt màng mạnh hơn, hiệu suất phủ tốt và độ dày màng đồng đều.
5. Mục tiêu phún xạ là nguồn phủ kiểu diện tích. Chiều dài của cả mục tiêu phún xạ Magnetron phẳng và mục tiêu phún xạ Magnetron hình trụ có thể đạt tới 300~3000 mm. Mặc dù cả hai đều là nguồn phủ tuyến tính, kết hợp với chuyển động liên tục của phôi, nó có thể được phủ trên một diện tích lớn các bộ phận. Nếu phủ một lớp màng trên bề mặt kính có chiều rộng 3300mm, có thể thu được một lớp màng đồng nhất với các màu sắc và độ truyền khác nhau. Phún xạ Magnetron đã được sử dụng rộng rãi trong việc lắng đọng các lớp màng mỏng diện tích lớn.
6. Sử dụng điện áp phân cực cho vật liệu gia công. Đầu tiên là công nghệ phun phủ Magnetron. Ngày nay, công nghệ phủ phủ Magnetron được sử dụng rộng rãi trên các chất nền kim loại và việc áp dụng điện áp phân cực âm cho vật liệu gia công để cải thiện chất lượng lớp màng đã trở thành công nghệ chính thống để phủ các màng chức năng đặc biệt và các sản phẩm trang trí cao cấp.
