Làm sạch bằng Plasma
Plasma, giống như chất rắn, chất lỏng hoặc khí, là một trạng thái của vật chất, còn được gọi là trạng thái thứ tư của vật chất. Áp dụng đủ năng lượng vào khí để ion hóa nó sẽ biến nó thành trạng thái plasma. Các thành phần "hoạt động" của plasma bao gồm: ion, electron, nhóm hoạt động, các nuclit bị kích thích (trạng thái siêu bền), photon, v.v. Thiết bị xử lý bề mặt plasma sử dụng các đặc tính của các thành phần hoạt động này để xử lý bề mặt mẫu, do đó đạt được mục đích làm sạch, sửa đổi, tro hóa chất cản quang, v.v.
Cấu trúc của máy làm sạch plasma chủ yếu được chia thành ba phần chính, bộ phận điều khiển, buồng chân không và máy bơm chân không.
Ưu điểm của phương pháp làm sạch bằng plasma như sau:
I) Vật thể làm sạch khô sau khi làm sạch plasma và có thể được chuyển đến quy trình tiếp theo mà không cần sấy khô thêm. Nó có thể cải thiện hiệu quả xử lý của toàn bộ dây chuyền quy trình;
2) Làm sạch bằng plasma giúp người sử dụng tránh xa tác hại của dung môi có hại cho cơ thể con người, đồng thời tránh được vấn đề dễ làm hỏng vật thể làm sạch khi làm sạch ướt;
3) Tránh sử dụng dung môi có hại ODS như trichloroethane, để không tạo ra chất gây ô nhiễm có hại sau khi vệ sinh, vì vậy phương pháp vệ sinh này là phương pháp vệ sinh xanh thân thiện với môi trường. Điều này ngày càng trở nên quan trọng khi thế giới chú trọng đến bảo vệ môi trường;
4) Plasma được tạo ra bởi tần số cao trong phạm vi sóng vô tuyến khác với ánh sáng trực tiếp như tia laser. Plasma không có tính định hướng cao, cho phép nó thâm nhập vào các lỗ nhỏ và các hốc của vật thể để hoàn thành nhiệm vụ làm sạch, vì vậy không cần phải xem xét quá nhiều đến hình dạng của vật thể đang được làm sạch. Hơn nữa, hiệu quả làm sạch trên các khu vực khó làm sạch này tương tự hoặc thậm chí tốt hơn so với hiệu quả làm sạch bằng Freon;
5) Sử dụng làm sạch plasma có thể cải thiện đáng kể hiệu quả làm sạch. Toàn bộ quá trình làm sạch có thể được hoàn thành trong vòng vài phút, vì vậy nó có đặc điểm là năng suất cao;
6) Độ chân không cần kiểm soát để làm sạch plasma là khoảng 100Pa, và điều kiện làm sạch này dễ đạt được. Do đó, chi phí thiết bị của thiết bị này không cao và quá trình làm sạch không yêu cầu sử dụng dung môi hữu cơ đắt tiền, khiến tổng chi phí thấp hơn so với quá trình làm sạch ướt truyền thống;
7) Làm sạch bằng plasma giúp tránh việc vận chuyển, lưu trữ và xả chất lỏng làm sạch, do đó, nơi sản xuất dễ dàng được giữ sạch sẽ và vệ sinh;
8) Làm sạch bằng plasma có thể được sử dụng bất kể đối tượng xử lý. Nó có thể xử lý nhiều loại vật liệu, cho dù đó là vật liệu kim loại, bán dẫn, oxit hay polyme (như polypropylene, polyvinyl clorua, polytetrafluoroethylene, polyimide, polyester, nhựa epoxy và các polyme khác). Do đó, nó đặc biệt phù hợp với các vật liệu chịu nhiệt và chịu dung môi. Hơn nữa, có thể làm sạch có chọn lọc toàn bộ, một phần hoặc cấu trúc phức tạp của vật liệu;
9) Trong khi hoàn thành việc vệ sinh và khử nhiễm, các tính chất bề mặt của vật liệu cũng có thể được cải thiện. Ví dụ, cải thiện tính chất làm ướt của bề mặt và cải thiện độ bám dính của màng rất quan trọng trong nhiều ứng dụng.
