Máy phủ quang học ICP Magnetron

Mô tả tóm tắt về máy

Máy phủ quang học ICP Magnetron là loại máy phủ quang học nhiều lớp lắng đọng bằng phương pháp phun tốc độ cao, hiệu suất cao và chất lượng cao mới được thiết kế để đáp ứng nhu cầu của ngành công nghiệp quang học và điện tử hiện đại đối với các màng hiệu suất cao. Máy kết hợp công nghệ Plasma cảm ứng (ICP) với nguyên lý phun magnetron, có khả năng lắng đọng hiệu quả và đồng đều các màng quang học nhiều lớp chất lượng cao trên nhiều loại chất nền khác nhau để đáp ứng nhu cầu của các ứng dụng khác nhau. Máy được sử dụng rộng rãi trong các thiết bị quang học, điện tử, chất bán dẫn và lớp phủ trang trí.

sản phẩm nổi bật

.Quy trình phủ ICP tiên tiến bằng phương pháp phun phủ trước rồi ion hóa sau có thể đạt được hiệu suất lắng đọng cao hơn, khả năng lặp lại lớp phủ tốt hơn và lớp màng chất lượng tốt hơn, đảm bảo hiệu suất quang học và độ bền của sản phẩm cuối cùng.
.Có thể thiết kế theo cấu trúc một buồng hoặc nhiều buồng tùy theo yêu cầu và được trang bị thiết bị nạp và dỡ tự động để đạt hiệu quả sản xuất cao hơn và chi phí vận hành thấp hơn.
.Nếu được cấu hình với hệ thống phủ bay hơi, nó cũng có thể thực hiện việc chuẩn bị màng AF/AS.
.Khả năng lắng đọng màng nhiều lớp, hỗ trợ thiết kế cấu trúc màng nhiều lớp phức tạp, khả năng điều chỉnh linh hoạt độ dày của lớp màng và kết hợp vật liệu theo nhu cầu của khách hàng, đáp ứng các yêu cầu về hiệu suất quang học khác nhau.
.Hỗ trợ nhiều loại vật liệu phủ khác nhau, bao gồm kim loại, oxit, nitrua, v.v., để thích ứng với các yêu cầu ứng dụng khác nhau, đáp ứng sự lựa chọn đa dạng của khách hàng.
.Cung cấp lớp cách điện và màng dẫn điện hiệu suất cao trong lĩnh vực bán dẫn, nâng cao hiệu suất quang học và độ bền trong các thiết bị quang học, cũng như tính thẩm mỹ và khả năng chống mài mòn trong lớp phủ trang trí, đáp ứng nhu cầu của các sản phẩm công nghệ cao.

THÔNG SỐ KỸ THUẬT

Loạt	Dòng CJX
Công nghệ	Phun xạ magnetron theo sau là quá trình ion hóa
Kích thước buồng	Có thể thiết kế theo yêu cầu khác nhau.
Vật liệu nền	Thấu kính thủy tinh; Tấm/tấm nhựa;
Phim phủ	AR; Supperhard AR; BBAR; Phim phản xạ cao; Bộ lọc cắt UV/IR; Bộ lọc thông dải; Phim quang học chính xác như phim màu; AF/AS；;
Hệ thống chân không	Hệ thống chân không chọn máy bơm phân tử (hoặc máy bơm khuếch tán) thương hiệu nổi tiếng quốc tế hoặc thương hiệu nổi tiếng Trung Quốc, polycold, máy bơm cơ học, v.v.