Bốc hơi chùm tia điện tử

Bốc hơi chùm electron là một loại lắng đọng hơi vật lý. Không giống như các phương pháp bốc hơi truyền thống, bốc hơi chùm electron sử dụng sự phối hợp của các trường điện từ để đạt được chính xác việc sử dụng các electron năng lượng cao để bắn phá vật liệu mục tiêu trong nồi nấu, làm tan chảy và sau đó lắng đọng trên chất nền. Bốc hơi chùm electron có thể lắng đọng các màng có độ tinh khiết và độ chính xác cao.

Bốc hơi chùm tia điện tử sử dụng các electron tăng tốc để bắn phá vật liệu phủ. Động năng của các electron được chuyển thành năng lượng nhiệt để làm nóng và bốc hơi vật liệu phủ và tạo thành màng. Súng điện tử được chia thành loại trực tiếp, vòng và E. Đặc điểm của bốc hơi gia nhiệt chùm tia điện tử là có thể đạt được mật độ năng lượng cực cao, lên tới 109w/cm2 và nhiệt độ gia nhiệt có thể đạt tới 3000-6000℃. Nó có thể bốc hơi kim loại hoặc hợp chất chịu lửa; vật liệu bốc hơi được đặt trong nồi nấu kim loại làm mát bằng nước để tránh vật liệu nồi nấu kim loại bị nhiễm bẩn. Lắng đọng bốc hơi chùm tia điện tử có thể tạo ra màng có độ tinh khiết cao. Đồng thời, có thể đặt nhiều nồi nấu kim loại trong cùng một thiết bị lắng đọng bốc hơi để đạt được quá trình bốc hơi và lắng đọng đồng thời hoặc riêng biệt của nhiều loại chất khác nhau. Hầu hết các vật liệu có thể được bốc hơi bằng cách bốc hơi chùm tia điện tử.

Bốc hơi chùm tia điện tử có thể bốc hơi các vật liệu có điểm nóng chảy cao. Nó có hiệu suất nhiệt cao hơn, mật độ chùm tia lớn hơn và tốc độ bốc hơi nhanh hơn so với bốc hơi gia nhiệt điện trở thông thường. Màng được sản xuất có độ tinh khiết cao và chất lượng tốt. Độ dày có thể được kiểm soát chính xác. Nó có thể được sử dụng rộng rãi để chế tạo các màng vật liệu quang học khác nhau như màng có độ tinh khiết cao và kính dẫn điện.

Phương pháp bay hơi chùm tia điện tử thường được sử dụng để chế tạo màng hợp kim hoặc màng oxit của Al, CO, Ni và Fe, màng SiO2, ZrO2 và màng oxit chống ăn mòn và chịu nhiệt độ cao.

Về mặt chức năng, công nghệ phủ chùm tia điện tử có những đặc điểm sau:

I) Lớp phủ có độ chính xác cao: Có thể kiểm soát chính xác độ dày và thành phần của màng, do đó tạo ra màng có các tính chất cụ thể.

2) Khả năng điều chỉnh mạnh mẽ: Các tính chất vật lý và hóa học của màng có thể dễ dàng điều chỉnh để đáp ứng nhu cầu của các ứng dụng khác nhau.

3). Phim chất lượng cao: Phim được chuẩn bị có độ đồng đều, mật độ và độ ổn định tốt.

4) Phạm vi ứng dụng rộng rãi: Thích hợp để phủ nhiều loại vật liệu khác nhau, bao gồm kim loại, chất bán dẫn, oxit, v.v.