Офорт
Основні принципи сухого травлення
1. Газова реакція**: у сухому травленні такі гази, як фторид і хлорид, зазвичай використовуються як травильники. Ці гази реагують з матеріалом, який потрібно витравлювати, у стані плазми, утворюючи летючі побічні продукти.
2. Генерація плазми**: газ перетворюється на плазму за допомогою радіочастотного (РЧ) збудження або мікрохвильового збудження. У плазмі молекули газу іонізуються з утворенням вільних радикалів та іонів, які можуть ефективно реагувати з матеріалом.
3. Вибіркове травлення**: Сухе травлення може досягти високої селективності та може вибірково видаляти певні матеріали, залишаючи інші матеріали незмінними. Це дуже важливо для обробки складних конструкцій.
Аплікації сухого травлення
- Виробництво напівпровідників: використовується для перенесення малюнка на кремнієві пластини для формування схем.
- Виробництво MEMS: Структурна обробка мікроелектромеханічних систем.
- Оптоелектроніка: виробництво оптоелектронних компонентів, таких як лазери та детектори.
01