چىداملىق پارغا ئايلىنىش
1>. ۋاكۇئۇمنىڭ پارلىنىشى
ۋاكۇئۇمنىڭ پارلىنىشى پارغا ئايلىنىش دەپ ئاتىلىدۇ ، ۋاكۇئۇم شارائىتىدا سىر ماتېرىياللىرىنى (ياكى كىنو ماتېرىيالى) پارغا ئايلاندۇرۇش ۋە ئۇنى مەلۇم ئىسسىقلىق بىلەن پارغا ئايلاندۇرۇش ئۇسۇلى ئارقىلىق پارغا ئايلاندۇرۇش جەريانىنى كۆرسىتىدۇ ، زەررىچىلەر يەر ئاستى يۈزىگە ئۇچۇپ فىلىم ھاسىل قىلىدۇ. پارغا ئايلىنىش بالدۇر ھەم كەڭ قوللىنىلغان ھور چۆكۈش تېخنىكىسى بولۇپ ، ئۇ ئاددىي كىنو شەكىللەندۈرۈش ئۇسۇلى ، نېپىز پەردىنىڭ ساپلىقى ۋە ئىخچاملىقى ، ئۆزگىچە كىنو قۇرۇلمىسى ۋە ئىقتىدارى قاتارلىق ئەۋزەللىككە ئىگە.
2>. خىزمەت پرىنسىپى
پارغا ئايلىنىشنىڭ فىزىكىلىق جەريانى تۆۋەندىكىلەرنى ئۆز ئىچىگە ئالىدۇ: ساقلانغان ماددىلارنىڭ گاز زەررىچىلىرىگە ئايلىنىشى ياكى ئەۋرىشىملىكى → گاز زەررىچىلىرىنىڭ پارغا ئايلىنىش مەنبەسىدىن يەر ئاستى يۈزىگە تېز يەتكۈزۈلۈشى → گاز زەررىچىلىرى يەر ئاستى قىسمىغا تۇتىشىدۇ ، نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ ياكى نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ ياكى خىمىيىلىك باغلىنىش ھاسىل قىلىدۇ.
تارماق بالا ۋاكۇئۇملۇق كامېرغا قويۇلۇپ ، قارشىلىق ، ئېلېكترون دەستىسى ، لازېر ۋە باشقا ئۇسۇللار بىلەن قىزىتىلىپ ، فىلىم ماتېرىيالى پارغا ئايلىنىدۇ ياكى ئۇنى تۆۋەنلىتىدۇ ۋە ئۇنى مەلۇم ئېنېرگىيە (0.1 ~ 0.3eV) بىلەن زەررىچىلەرگە (ئاتوم ، مولېكۇلا ياكى توپ) پارغا ئايلاندۇرىدۇ. گازلىق زەررىچىلەر ئاساسىي جەھەتتىن سوقۇلۇشتىن خالىي سىزىقلىق ھەرىكەتتە ئاستىرتۇسقا يەتكۈزۈلىدۇ ، يەر ئاستى قىسمىغا يېتىپ كەلگەن بىر قىسىم زەررىچىلەر ئەكىس ئەتتۈرۈلىدۇ ، يەنە بىر قىسمى يەر ئاستى قىسمىغا چاپلىنىپ يەر يۈزىگە تارقىلىدۇ ، نەتىجىدە چۆكۈپ كەتكەن ئاتوملار ئارىسىدا ئىككى ئۆلچەملىك سوقۇلۇش پەيدا بولۇپ ، كېيىن ھاسىل بولىدۇ. زەررىچىلەر توپى تارقاق زەررىچىلەر بىلەن توختىماي سوقۇلۇپ كېتىدۇ ، مەيلى ئېلان ياكى يەككە زەررىچىلەر قويۇپ بېرىدۇ. بۇ جەريان قايتا-قايتا تەكرارلىنىدۇ ، يىغىلغان زەررىچىلەر سانى مەلۇم ھالقىلىق قىممەتتىن ئېشىپ كەتسە ، ئۇ مۇقىم يادروغا ئايلىنىدۇ ، ئاندىن داۋاملىق زەررىچىلەرنى تارقىتىدۇ ۋە تارقىتىدۇ ۋە ئاستا-ئاستا چوڭىيىدۇ ، ئاخىرىدا قوشنا مۇقىم يادرونىڭ ئالاقىلىشىشى ۋە قوشۇلۇشى ئارقىلىق ئۇدا نېپىز پەردە ھاسىل قىلىدۇ.
3>. ئاچقۇچلۇق پارامېتىرلار
تويۇنۇش ھور بېسىمى (PV): ۋاكۇئۇم كامېردىكى پارغا ئايلانغان ماددىلارنىڭ ھورنىڭ مەلۇم تېمپېراتۇرىدا قاتتىق ياكى سۇيۇقلۇق بىلەن تەڭپۇڭ ھالەتتە تۇرغان بېسىمى. تويۇنۇش ھور بېسىمى بىلەن تېمپېراتۇرا ئوتتۇرىسىدىكى مۇناسىۋەت ئەگرى سىزىقى كىنو ياساش تېخنىكىسى ئۈچۈن ئىنتايىن مۇھىم ، بۇ بىزنىڭ پارغا ئايلىنىش ماتېرىياللىرىنى مۇۋاپىق تاللىشىمىز ۋە پارلىنىش شارائىتىنى بەلگىلىشىمىزگە ياردەم بېرەلەيدۇ.
