Dirençli buharlaşma

Vakum buharlaştırma, buharlaştırma olarak da adlandırılır, kaplama malzemesinin (veya film malzemesinin) buharlaştırılması ve vakum koşulları altında belirli bir ısıtma ve buharlaştırma yöntemi ile buharlaştırılması ve parçacıkların bir film oluşturmak için alt tabakanın yüzeyine uçması işlemine atıfta bulunur. Buharlaştırma, basit film oluşturma yöntemi, ince filmin yüksek saflığı ve kompaktlığı ve benzersiz film yapısı ve performansı avantajlarına sahip olan daha eski ve en yaygın kullanılan buhar biriktirme teknolojisidir.

Buharlaşmanın fiziksel süreci şunları içerir: biriktirilen malzemenin gaz parçacıklarına buharlaşması veya süblimleşmesi→ gaz parçacıklarının buharlaşma kaynağından alt tabakanın yüzeyine hızla taşınması→ gaz parçacıklarının çekirdeklenmek, katı bir filme dönüşmek için alt tabakanın yüzeyine tutunması→ ince film atomlarının yeniden oluşturulması veya kimyasal bağ oluşturması.

Alt tabaka bir vakum odasına yerleştirilir ve direnç, elektron ışını, lazer ve diğer yöntemlerle ısıtılarak film malzemesi buharlaştırılır veya süblimleştirilir ve belirli bir enerjiyle (0,1 ~ 0,3 eV) parçacıklara (atomlar, moleküller veya kümeler) dönüştürülür. Gaz halindeki parçacıklar, temelde çarpışmasız doğrusal bir hareketle alt tabakaya taşınır ve alt tabakanın yüzeyine ulaşan parçacıkların bir kısmı yansıtılır ve diğer kısmı alt tabakaya adsorbe edilir ve yüzeye yayılır, bunun sonucunda biriken atomlar arasında iki boyutlu çarpışmalar meydana gelerek kümeler oluşturur ve bazıları yüzeyde kısa bir süre kalıp sonra buharlaşır. Parçacık kümeleri, tek parçacıkları adsorbe ederek veya yayarak sürekli olarak dağınık parçacıklarla çarpışır. Bu işlem tekrar tekrar tekrarlanır ve toplanan parçacık sayısı belirli bir kritik değeri aştığında kararlı bir çekirdek haline gelir ve daha sonra parçacıkları adsorplamaya ve dağıtmaya devam eder ve kademeli olarak büyür ve son olarak bitişik kararlı çekirdeklerin teması ve birleşmesi yoluyla sürekli bir ince film oluşturur.

Doymuş buhar basıncı (PV): Bir vakum odasındaki buharlaştırılmış malzemenin buharının belirli bir sıcaklıktaki bir katı veya sıvı ile dengede olduğu basınç. Doymuş buhar basıncı ile sıcaklık arasındaki ilişki eğrisi, buharlaştırma malzemelerini rasyonel bir şekilde seçmemize ve buharlaştırma koşullarını belirlememize yardımcı olabilecek film üretim teknolojisi için büyük önem taşır.