E-Işın Buharlaşması
Elektron demeti buharlaştırması bir tür fiziksel buhar biriktirmedir. Geleneksel buharlaştırma yöntemlerinden farklı olarak, elektron demeti buharlaştırması, yüksek enerjili elektronların potadaki hedef malzemeyi bombardıman etmek, eritmek ve sonra alt tabakaya biriktirmek için doğru bir şekilde kullanılmasını sağlamak için elektromanyetik alanların koordinasyonunu kullanır. Elektron demeti buharlaştırması, yüksek saflıkta ve yüksek hassasiyette filmler biriktirebilir.
Elektron ışını buharlaştırması, kaplama malzemesini bombardıman etmek için hızlandırılmış elektronlar kullanır. Elektronların kinetik enerjisi, kaplama malzemesini ısıtmak ve buharlaştırmak ve bir film oluşturmak için ısı enerjisine dönüştürülür. Elektron tabancaları doğrudan, halka ve E tiplerine ayrılır. Elektron ışını ısıtma buharlaştırmasının özellikleri, 109w/cm2'ye kadar son derece yüksek enerji yoğunluğu elde edebilmesi ve ısıtma sıcaklığının 3000-6000℃'ye ulaşabilmesidir. Refrakter metalleri veya bileşikleri buharlaştırabilir; buharlaştırılan malzeme, pota malzemesinin kirlenmesini önlemek için su soğutmalı bir potaya yerleştirilir. Elektron ışını buharlaştırma birikimi, yüksek saflıkta filmler hazırlayabilir. Aynı anda, çeşitli farklı maddelerin eş zamanlı veya ayrı buharlaştırılmasını ve biriktirilmesini sağlamak için aynı buharlaştırma biriktirme cihazına birden fazla pota yerleştirilebilir. Çoğu malzeme elektron ışını buharlaştırmasıyla buharlaştırılabilir.
Elektron ışını buharlaştırması yüksek erime noktalı malzemeleri buharlaştırabilir. Genel dirençli ısıtma buharlaştırmasından daha yüksek termal verimliliğe, daha büyük ışın yoğunluğuna ve daha hızlı buharlaşma hızına sahiptir. Üretilen film yüksek saflıkta ve iyi kalitededir. Kalınlık doğru bir şekilde kontrol edilebilir. Yüksek saflıkta filmler ve iletken cam gibi çeşitli optik malzeme filmleri hazırlamak için yaygın olarak kullanılabilir.
Elektron demeti buharlaştırma yöntemi genellikle Al, CO, Ni ve Fe alaşım veya oksit filmleri, SiO2, ZrO2 filmleri ve korozyona ve yüksek sıcaklığa dayanıklı oksit filmleri hazırlamak için kullanılır.
Elektron demeti kaplama teknolojisi fonksiyonel açıdan aşağıdaki özelliklere sahiptir:
I) Yüksek hassasiyetli kaplama: Film kalınlığı ve bileşiminin hassas bir şekilde kontrol edilebilmesini sağlayarak, spesifik özelliklere sahip filmler hazırlanmasını sağlar.
2) Güçlü ayarlanabilirlik: Filmin fiziksel ve kimyasal özellikleri, farklı uygulamaların ihtiyaçlarını karşılayacak şekilde kolayca ayarlanabilir.
3). Yüksek kaliteli film: Hazırlanan filmin iyi bir düzgünlüğü, yoğunluğu ve kararlılığı vardır.
4) Geniş uygulama alanı: Metaller, yarı iletkenler, oksitler vb. dahil olmak üzere çeşitli malzemelerin kaplanması için uygundur.
