Resistive Pagsingaw

Ang pagsingaw ng vacuum, na tinutukoy bilang pagsingaw, ay tumutukoy sa paraan ng proseso ng pagsingaw ng materyal na patong (o materyal ng pelikula) at pagsingaw nito sa pamamagitan ng isang tiyak na paraan ng pag-init at pagsingaw sa ilalim ng mga kondisyon ng vacuum, at ang mga particle ay lumilipad sa ibabaw ng substrate upang bumuo ng isang pelikula. Ang evaporation ay isang mas maaga at pinaka-malawak na ginagamit na teknolohiya ng vapor deposition, na may mga pakinabang ng simpleng paraan ng pagbuo ng pelikula, mataas na kadalisayan at pagiging compact ng manipis na pelikula, at natatanging istraktura at pagganap ng pelikula.

Ang pisikal na proseso ng evaporation ay kinabibilangan ng: ang evaporation o sublimation ng idinepositong materyal sa mga gaseous na particle → ang mabilis na transportasyon ng mga gaseous na particle mula sa evaporation source papunta sa ibabaw ng substrate → ang mga gaseous na particle ay nakakabit sa ibabaw ng substrate upang mag-nucleate, lumalaki sa isang solid film→ reconstitution ng thin film atoms o gumawa ng chemical bonding.

Ang substrate ay inilalagay sa isang silid ng vacuum at pinainit sa pamamagitan ng resistensya, electron beam, laser at iba pang mga pamamaraan upang mag-evaporate o mag-sublimate ng materyal ng pelikula at mag-vaporize ito sa mga particle (mga atomo, molekula o kumpol) na may tiyak na enerhiya (0.1~0.3eV). Ang mga gas na particle ay dinadala sa substrate sa isang linear na paggalaw na karaniwang walang banggaan, at ang ilan sa mga particle na umaabot sa ibabaw ng substrate ay makikita, at ang iba pang bahagi ay na-adsorbed sa substrate at kumakalat sa ibabaw, na nagreresulta sa dalawang-dimensional na banggaan sa pagitan ng mga nadeposito na atom upang bumuo ng mga kumpol, at ang ilan ay maaaring manatili sa ibabaw at pagkatapos ay sumingaw. Ang mga kumpol ng mga particle ay patuloy na nagbabanggaan sa mga nagkakalat na particle, alinman sa adsorbing o naglalabas ng mga solong particle. Ang prosesong ito ay paulit-ulit na paulit-ulit, at kapag ang bilang ng mga particle na natipon ay lumampas sa isang tiyak na kritikal na halaga, ito ay nagiging isang matatag na nucleus, at pagkatapos ay patuloy na sumisipsip at nagkakalat ng mga particle at unti-unting lumalaki, at sa wakas ay bumubuo ng isang tuluy-tuloy na manipis na pelikula sa pamamagitan ng pakikipag-ugnay at pagsasama ng katabing matatag na nuclei.

Saturation vapor pressure (PV): Ang presyon kung saan ang singaw ng evaporated material sa isang vacuum chamber ay nasa equilibrium na may solid o likido sa isang tiyak na temperatura. Ang curve ng relasyon sa pagitan ng saturation vapor pressure at temperatura ay may malaking kahalagahan para sa teknolohiya ng paggawa ng pelikula, na makakatulong sa atin na makatwiran na pumili ng mga materyales sa pagsingaw at matukoy ang mga kondisyon ng pagsingaw.