Paglilinis ng Plasma

Ang plasma, tulad ng solid, likido o gas, ay isang estado ng bagay, na tinatawag ding ikaapat na estado ng bagay. Ang paglalapat ng sapat na enerhiya sa gas upang ma-ionize ito ay gagawing plasma state. Ang mga "aktibong" bahagi ng plasma ay kinabibilangan ng: ions, electron, aktibong grupo, excited nuclides (metastable state), photon, atbp. Ang plasma surface treatment instrument ay gumagamit ng mga katangian ng mga aktibong sangkap na ito upang gamutin ang sample surface, sa gayon ay nakakamit ang layunin ng paglilinis, pagbabago, photoresist ashing, atbp.

Ang istraktura ng plasma cleaning machine ay pangunahing nahahati sa tatlong pangunahing bahagi, ang control unit, ang vacuum chamber at ang mga vacuum pump.

Ang mga pakinabang ng paglilinis ng plasma ay ang mga sumusunod:

I) Ang panlinis na bagay ay tuyo pagkatapos ng paglilinis ng plasma at maaaring ipadala sa susunod na proseso nang hindi na pinatuyo. Maaari itong mapabuti ang kahusayan sa pagproseso ng buong linya ng proseso;

2) Ang paglilinis ng plasma ay nagbibigay-daan sa mga gumagamit na lumayo sa pinsala ng mga nakakapinsalang solvent sa katawan ng tao, at iniiwasan din ang problema ng madaling pagkasira ng bagay sa paglilinis sa basang paglilinis;

3) Iwasan ang paggamit ng mga nakakapinsalang solvent ng ODS tulad ng trichloroethane, upang walang mga nakakapinsalang pollutant na lalabas pagkatapos ng paglilinis, kaya ang paraan ng paglilinis na ito ay isang environment friendly na paraan ng paglilinis ng berde. Ito ay nagiging lalong mahalaga habang ang mundo ay binibigyang pansin ang pangangalaga sa kapaligiran;

4) Ang plasma na nabuo ng mataas na frequency sa hanay ng radio wave ay iba sa direktang liwanag tulad ng mga laser. Ang plasma ay hindi masyadong direksyon, na nagbibigay-daan dito na tumagos sa maliliit na butas at recesses ng isang bagay upang makumpleto ang gawain sa paglilinis, kaya hindi na kailangang isaalang-alang ang hugis ng bagay na nililinis nang labis. Bukod dito, ang epekto ng paglilinis sa mga lugar na mahirap linisin ay katulad o mas mabuti pa kaysa sa paglilinis ng Freon;

5) Ang paggamit ng paglilinis ng plasma ay maaaring lubos na mapabuti ang kahusayan sa paglilinis. Ang buong proseso ng paglilinis ay maaaring makumpleto sa loob ng ilang minuto, kaya mayroon itong mga katangian ng mataas na ani;

6) Ang antas ng vacuum na kailangang kontrolin para sa paglilinis ng plasma ay humigit-kumulang 100Pa, at ang kundisyong ito sa paglilinis ay madaling makamit. Samakatuwid, ang gastos ng kagamitan ng aparatong ito ay hindi mataas, at ang proseso ng paglilinis ay hindi nangangailangan ng paggamit ng mga mamahaling organikong solvent, na ginagawang mas mababa ang kabuuang gastos kaysa sa tradisyonal na proseso ng paglilinis ng basa;

7) Iniiwasan ng paglilinis ng plasma ang transportasyon, imbakan, at paglabas ng mga likidong panlinis, kaya madaling panatilihing malinis at kalinisan ang lugar ng produksyon;

8) Maaaring gamitin ang paglilinis ng plasma anuman ang layunin ng paggamot. Maaari itong gamutin ang iba't ibang mga materyales, ito man ay metal, semiconductor, oxide, o polymer na materyales (tulad ng polypropylene, polyvinyl chloride, polytetrafluoroethylene, polyimide, polyester, epoxy resin at iba pang polymer). Samakatuwid, ito ay partikular na angkop para sa heat-resistant at solvent-resistant na mga materyales. Bukod dito, ang pangkalahatang, bahagyang o kumplikadong istraktura ng materyal ay maaaring piliing linisin;

9) Habang kinukumpleto ang paglilinis at pag-decontamination, ang mga katangian ng ibabaw ng materyal mismo ay maaari ding mapabuti. Halimbawa, ang pagpapabuti ng mga katangian ng basa ng ibabaw at pagpapabuti ng pagdirikit ng pelikula ay napakahalaga sa maraming mga aplikasyon.