Tüýdük
1.
2. Film-substrat baglanyşyk güýji wakuum bugarmak örtüginden has gowudyr. Wakuum bugarmak örtük tehnologiýasynda, film gatlagyndaky atomlaryň energiýasy diňe bugarmak döwründe göterilýän ýylylyk energiýasy bolup, 00.1 ~ 0.2eV deňdir; magnitron tüýdük örtük tehnologiýasynda bolsa, film gatlagynyň bölejikleriniň energiýasy argon ionlary we nyşanyň ýerüsti atomlary arkaly emele gelýär. Çalyşmak we tizlik alyş-çalşygy membrananyň esasy baglanyşyk güýjüni gowulandyryp biler.
3. Film gatlagynyň düzümi maksat materialyna ýakyn. Magnitronyň dökülmeginiň film gatlagy nyşandan argon ionlary bilen dökülýär we film gatlagynyň düzümi maksat materialyna gaty ýakyn. Alnan "fraksiýa" ýa-da "dargamak" hadysasy bugarmak örtügi bilen deňeşdirilende has ýeňil. Şeýle-de bolsa, adatça, gaty berk ýerine ýetiriş talaplary bilen işleýän filmi örtülende, filmiň goşma film düzüminiň filmiň ýerine ýetiriş talaplaryny üpjün etmek üçin stoihiometrik gatnaşyga laýyk bolmagy üçin tüýkürmek prosesinde belli bir mukdarda reaktiw gaz goşulmalydyr.
4. Örtük gowy örtük ýerine ýetirijiligine eýedir. Tüýdük örtüginiň wakuum basyşy pesdir. Gaz molekulalarynyň erkin ýoly gysga, çaknyşmak ähtimallygy ýokary we bugarmak örtügi bilen deňeşdirilende, film bölejikleriniň dargamak ukyby güýçli, örtük öndürijiligi gowy we filmiň galyňlygy birmeňzeşdir.
5. Tüýkürmek nyşany meýdan görnüşli örtük çeşmesidir. “Magnetron” uçar nyşanynyň we silindr görnüşli magnetron nyşanynyň uzynlygy 300 ~ 3000 mm ýetip biler. Bularyň ikisi hem çyzykly örtük çeşmesi bolsa-da, iş böleginiň üznüksiz hereketi bilen birlikde, bölekleriň uly böleginde örtülip bilner. Eger ini 3300mm giňlikdäki aýna üstünde örtülen bolsa, dürli reňkli we geçirijilikli birmeňzeş film gatlagyny alyp bolýar. Magnitron tüýdügi uly meýdany inçe filmleri goýmakda giňden ulanyldy.
6. Iş bölegine ikitaraplaýyn naprýa .eniýäni ulanyň. Ilki bilen, Magnetron tüýdük tehnologiýasynda. Häzirki wagtda metal substratlarda magnitron tüýdük örtük tehnologiýasy giňden ulanylýar we film gatlagynyň hilini ýokarlandyrmak üçin iş bölegine negatiw naprýa .eniýe ulanmak ýörite işleýän filmleri we ýokary derejeli bezeg önümlerini örtmek üçin esasy tehnologiýa öwrüldi.
