Çydamly bugarmak

Wakuum bugarmagy, bugarmak diýlip atlandyrylýan örtük materialyny (ýa-da film materialyny) bugarmak we wakuum şertlerinde belli bir ýyladyş we bugarmak usuly bilen buglamak prosesine degişlidir we bölejikler film döretmek üçin substratyň ýüzüne uçýar. Bugarmak, ýönekeý film emele getiriş usulynyň, inçe arassa filmiň ýokary arassalygy we ykjamlygy, täsin film gurluşy we ýerine ýetirijiligi ýaly artykmaç we giňden ulanylýan bug çökdürmek tehnologiýasydyr.

Buglanmagyň fiziki prosesi şulary öz içine alýar: goýlan materialyň gaz bölejiklerine bugarmagy ýa-da sublimasiýasy, gaz bölejikleriniň bugarmak çeşmesinden substratyň ýüzüne çalt daşalmagy ose gaz bölejikleri substratyň üstüne ýadro, berk film bolup ösmek thin inçe film atomlarynyň dikeldilmegi ýa-da himiki baglanyşyk öndürmek.

Substrat wakuum kamerasyna ýerleşdirilýär we film materialyny bugarmak ýa-da sublimirlemek we belli bir energiýa (0,1 ~ 0.3eV) bilen bölejiklere (atomlara, molekulalara ýa-da toparlara) bugarmak üçin garşylyk, elektron şöhlesi, lazer we beýleki usullar bilen gyzdyrylýar. Gaz bölejikleri, esasan, çaknyşyksyz çyzykly hereketde substrata daşalýar we substratyň ýüzüne ýetýän bölejikleriň käbiri şöhlelendirilýär, beýleki bölegi bolsa substratda ýerleşdirilýär we üstünde ýaýylýar, netijede toplanan atomlaryň arasynda iki ölçegli çaknyşyk bolup, toparlar gysga wagtlap galyp biler. Bölejikleriň toparlary ýaýradyjy bölejikler bilen yzygiderli çaknyşýar, ýa-da bir bölejigi bölüp çykarýar. Bu amal birnäçe gezek gaýtalanýar we ýygnanan bölejikleriň sany belli bir möhüm bahadan ýokary bolsa, durnukly ýadro bolýar we bölejikleri siňdirýär we ýaýradýar we kem-kemden ulalýar we ahyrsoňy goňşy durnukly ýadrolaryň kontakty we birleşmegi arkaly üznüksiz inçe film döredýär.

Dokma bugynyň basyşy (PV): Wakuum kamerasyndaky bugarýan materialyň bugynyň belli bir temperaturada gaty ýa-da suwuk bilen deňagramlylykda bolmagy. Bug bugy basyşy bilen temperaturanyň arasyndaky baglanyşyk egri, bug bugy materiallaryny rasional saýlamaga we bugarmak şertlerini kesgitlemäge kömek edip biljek film ýasamak tehnologiýasy üçin möhüm ähmiýete eýe.