Plazmany arassalamak

Gaty, suwuk ýa-da gaz ýaly plazma, materiýanyň dördünji ýagdaýy diýlip atlandyrylýan materiýadyr. Ionlaşdyrmak üçin gaza ýeterlik energiýa sarp edilse, ony plazma ýagdaýyna öwürer. Plazmanyň "işjeň" düzüm böleklerine şular girýär: ionlar, elektronlar, işjeň toparlar, tolgundyrylan nuklidler (metastable ýagdaý), fotonlar we ş.m. Plazma ýerüsti bejeriş guraly bu işjeň komponentleriň häsiýetini nusga ýüzüni bejermek üçin ulanýar, şeýlelik bilen arassalamak, üýtgetmek, fotorezist kül we ş.m.

Plazma arassalaýjy maşynyň gurluşy esasan üç esasy bölege, dolandyryş bölümi, vakuum kamerasy we vakuum nasoslaryna bölünýär.

Plazmany arassalamagyň artykmaçlyklary aşakdakylar:

I) Arassalaýjy obýekt plazma arassalanandan soň gury we indiki guramaga iberilmezden iberilip bilner. Processhli proses liniýasynyň gaýtadan işleýiş netijeliligini ýokarlandyryp biler;

2) Plazmany arassalamak ulanyjylara zyýanly erginleriň adam bedenine ýetirýän zyýanyndan uzak durmaga mümkinçilik berýär, şeýle hem çygly arassalaýyşda arassalaýjy desga aňsat zeper ýetmek meselesinden gaça durýar;

3) Trihloroetan ýaly ODS zyýanly erginleri ulanmakdan gaça duruň, arassalanandan soň zyýanly hapalaýjy maddalar öndürilmez, şonuň üçin bu arassalama usuly ekologiýa taýdan arassa ýaşyl arassalaýyş usulydyr. Dünýä daşky gurşawy goramaga uly üns berýändigi sebäpli bu barha möhüm bolup başlaýar;

4) Radio tolkun aralygyndaky ýokary ýygylyklardan emele gelen plazma, lazer ýaly göni yşykdan tapawutlanýar. Arassalaýyş işini tamamlamak üçin bir zadyň kiçijik deşiklerine we çukurlaryna aralaşmaga mümkinçilik berýän plazma gaty ugrukdyryjy däl, şonuň üçin obýektiň görnüşini gaty arassalamak barada pikir etmegiň zerurlygy ýok. Mundan başga-da, arassa däl bu ýerlerde arassalaýyş täsiri, Freon arassalaýyşa meňzeýär ýa-da has gowudyr;

5) Plazmany arassalamak, arassalamagyň netijeliligini ep-esli ýokarlandyryp biler. Arassalamak prosesi birnäçe minudyň içinde tamamlanyp bilner, şonuň üçin ýokary hasyllylyk aýratynlyklaryna eýe;

6) Plazmany arassalamak üçin gözegçilik edilmeli wakuum derejesi takmynan 100Pa, bu arassalaýyş ýagdaýyna ýetmek aňsat. Şonuň üçin bu enjamyň enjam bahasy ýokary däl we arassalamak prosesi gymmat bahaly organiki erginleri ulanmagy talap etmeýär, bu umumy çykdajylary adaty çyg arassalaýyş işinden has pes edýär;

7) Plazmany arassalamak arassalaýjy suwuklyklary daşamakdan, saklamakdan we zyňmakdan gaça durýar, şonuň üçin önümçilik ýerini arassa we arassa saklamak aňsat;

8) Plazmany arassalamak, bejeriş obýektine garamazdan ulanylyp bilner. Metal, ýarymgeçiriji, oksid ýa-da polimer materiallar bolsun (polipropilen, poliwinil hlorid, polietetrafluoroetilen, polimid, poliester, epoksi rezin we beýleki polimerler) bolsun, dürli materiallary bejerip biler. Şonuň üçin ol yssylyga we erginlere çydamly materiallar üçin aýratyn amatlydyr. Mundan başga-da, materialyň umumy, bölekleýin ýa-da çylşyrymly gurluşyny saýlap arassalap bolýar;

9) Arassalamak we zyýansyzlandyrmak işleri tamamlananda, materialyň üstki häsiýetleri hem gowulaşyp biler. Mysal üçin, ýüzüň çygly häsiýetlerini gowulandyrmak we filmiň ýelmeşmesini gowulandyrmak köp programmalarda möhümdir.