Elektron şöhläniň bugarmagy fiziki bug çökgünliginiň bir görnüşidir. Adaty bugarmak usullaryndan tapawutlylykda, elektron şöhleleriniň bugarmagy elektromagnit meýdanlaryň utgaşdyrylmagyny ulanyp, möhüm materiallary bombalamak, eritmek we substratda goýmak üçin ýokary energiýaly elektronlaryň ulanylmagyny takyk gazanmak üçin ulanýar. Elektron şöhläniň bugarmagy ýokary arassalygy we ýokary takyklykly filmleri goýup biler.
Elektron şöhlesiniň bugarmagy örtük materialyny bombalamak üçin çaltlaşdyrylan elektronlary ulanýar. Elektronlaryň kinetiki energiýasy, örtük materialyny ýylatmak we bugarmak we film döretmek üçin ýylylyk energiýasyna öwrülýär. Elektron ýaraglar göni, halka we E görnüşlere bölünýär. Elektron şöhleleriniň ýyladyş bugarmagynyň aýratynlyklary, ýokary energiýa dykyzlygyny, 109w / sm2 çenli we ýyladyş temperaturasy 3000-6000 reach ýetip biler. Ol refrakter metallary ýa-da birleşmeleri bugaryp biler; bugarýan material, möhüm materialyň hapalanmazlygy üçin suw bilen sowadylan çüýşe ýerleşdirilýär. Elektron şöhleleriniň bugarmagy depozisi ýokary arassa filmleri taýýarlap biler. Şol bir wagtyň özünde, bir wagtyň özünde ýa-da aýry-aýry bugarmagy we dürli dürli maddalaryň çökmegini gazanmak üçin şol bir bugarmak depozit enjamyna birnäçe çüýler ýerleşdirilip bilner. Materiallaryň köpüsi elektron şöhlesiniň bugarmagy bilen bugaryp biler.
Elektron şöhläniň bugarmagy ýokary eriş nokatlarynyň materiallaryny bugaryp biler. Has ýokary ýylylyk netijeliligi, şöhläniň dykyzlygy we umumy garşylyk ýyladyş bugarmagyndan has çalt bugarmak tizligi bar. Öndürilen film ýokary arassalygy we ýokary hilli. Galyňlygyny takyk dolandyryp bolýar. Highokary arassa filmler we geçiriji aýna ýaly dürli optiki material filmleri taýýarlamak üçin giňden ulanylyp bilner.
Elektron şöhleleriniň bugarmagy köplenç Al, CO, Ni we Fe, SiO2, ZrO2 filmleriniň garyndysyna ýa-da oksid filmlerine, poslama garşy we ýokary temperatura çydamly oksid filmlerini taýýarlamak üçin ulanylýar.
Funksiýa nukdaýnazaryndan elektron şöhle örtük tehnologiýasy aşakdaky aýratynlyklara eýedir:
I) precokary takyk örtük: Filmiň galyňlygyna we düzümine takyk gözegçilik edip biler we şeýlelik bilen aýratyn aýratynlyklary bolan filmleri taýýarlap biler.
2) Güýçli sazlamak: Filmiň fiziki we himiki aýratynlyklary dürli programmalaryň isleglerini kanagatlandyrmak üçin aňsatlyk bilen sazlanyp bilner.
3). Qualityokary hilli film: Taýýarlanan film gowy birmeňzeşlige, dykyzlyga we durnuklylyga eýe.
4) Giňişleýin ulanylyş: metallar, ýarymgeçirijiler, oksidler we ş.m. ýaly dürli materiallary örtmek üçin amatly.
01








