ALD

Atom gatlagynyň çökdürilmegi (ALD) ýokary takyk himiki bug çökdürilişine (CVD) esaslanýar. Inçe film çöketlik tehnologiýasy Bu, material materiallaryny substratyň üstünde gatlak boýunça himiki bug fazalary gatlagyna esaslanýan bir atom filmleri görnüşinde goýmagyň usulydyr. Iki ýa-da has köp deslapky himiki maddalar, goýulýan materialyň dürli elementini öz içine alýan substratyň ýüzüne bir gezek girizilýär. Her bir deslapky material monolaýer emele getirmek üçin ýüzüni doýurýar.

ALD-iň ösüş ýörelgesi adaty himiki howa çöketligine (CVD) meňzeýär, ýöne ALD-de reaksiýa prekursorlary çökdürme prosesinde gezekli-gezegine goýulýar we atomlaryň täze gatlagynyň himiki reaksiýasy öňki gatlak bilen gönüden-göni baglanyşykly bolup, her reaksiýa üçin diňe bir gatlak atom goýulýar. Öz-özüňi çäklendirýän ösüş aýratynlyklaryna eýe bolmak, filmi substrata laýyk we çukursyz goýmaga mümkinçilik berýär. Şonuň üçin filmiň galyňlygyna takyk gözegçilik etmek üçin çöketlik siklleriniň sanyny dolandyryp bolýar.

Atom gatlagyny çökdürmek tehnologiýasynyň aýratynlyklary we artykmaçlyklary

Accokary takyklyk. Substratyň galyňlygy reaksiýa sikline gözegçilik etmek arkaly aňsat we takyk dolandyrylyp bilner we filmiň galyňlygy atomyň galyňlygy ýaly takyk bolup biler.

Ajaýyp üç ölçegli