Бухоршавии муқовимат

Бухоршавии вакуумӣ, ки бухоршавӣ номида мешавад, ба усули раванди бухор кардани маводи пӯшиш (ё маводи плёнка) ва бухор кардани он бо усули муайяни гармкунӣ ва бухоршавӣ дар шароити вакуум дахл дорад ва зарраҳо ба сатҳи оксид парвоз карда, плёнка ба вуҷуд меоранд. Бухоршавӣ технологияи пештара ва васеъ истифодашавандаи таҳшинкунии буғ мебошад, ки бартариҳои усули оддии ташаккули филм, тозагии баланд ва паймон будани филми тунук ва сохтор ва иҷрои беназири филмро дорад.

Раванди физикии бухоршавӣ инҳоро дар бар мегирад: бухоршавӣ ё сублиматсияи маводи гузошташуда ба заррачаҳои газӣ → интиқоли босуръати заррачаҳои газӣ аз манбаи бухоршавӣ ба сатҳи субстрат → заррачаҳои газӣ ба сатҳи субстрат ба ядро ​​​​часб мешаванд, ба қабати сахт табдил меёбанд → барқароркунии атомҳои плёнкаи тунук ё истеҳсоли бо химиявӣ.

Субстратро дар камераи вакуумӣ ҷойгир карда, бо роҳи муқовимат, шуои электронӣ, лазерӣ ва дигар усулҳо гарм карда, маводи плёнкаро бухор мекунанд ё сублиматсия мекунанд ва онро ба заррачаҳо (атомҳо, молекулаҳо ё кластерҳо) бо энергияи муайян (0,1 ~ 0,3эВ) бухор мекунанд. Зарраҳои газӣ ба субстрат бо як ҳаракати хаттӣ интиқол дода мешаванд, ки аслан бидуни бархӯрд ҳастанд ва қисме аз зарраҳое, ки ба сатҳи субстрат меоянд, инъикос мешаванд ва қисми дигар дар субстрат адсорб мешавад ва дар рӯи рӯи замин паҳн мешавад, ки дар натиҷа бархӯрдҳои дученака байни атомҳои гузошташуда ба вуҷуд омада, кластерҳоро ташкил медиҳанд ва баъзеи онҳо метавонанд дар сатҳи кӯтоҳ боқӣ монанд. Кластерҳои заррачаҳо пайваста бо заррачаҳои диффузӣ бархӯрда, заррачаҳои ягонаро адсорб мекунанд ё паҳн мекунанд. Ин раванд такрор ба такрор такрор мешавад ва вақте ки миқдори зарраҳои ҷамъшуда аз арзиши муайяни критикӣ зиёд мешавад, он ба ядрои устувор табдил меёбад ва сипас ба адсорбсия ва паҳншавии заррачаҳо идома медиҳад ва тадриҷан афзоиш меёбад ва дар ниҳоят тавассути тамос ва муттаҳидшавии ядроҳои устувори ҳамсоя пардаи тунуки муттасил ба вуҷуд меояд.

Фишори буғи сершавӣ (PV): Фишоре, ки дар он буғи маводи бухоршуда дар камераи вакуумӣ бо ҷисми сахт ё моеъ дар ҳарорати муайян дар мувозинат қарор дорад. Хатти муносибати байни фишори буғи сершавӣ ва ҳарорат барои технологияи истеҳсоли филм аҳамияти калон дорад, ки метавонад ба мо дар интихоби оқилонаи маводи бухоршавӣ ва муайян кардани шароити бухоршавӣ кӯмак кунад.