Эзоҳ
Принсипҳои асосии коркарди хушк
1. Реаксияи газ**: Ҳангоми пошидани хушк одатан газҳо ба монанди фторид ва хлорид ҳамчун метант истифода мешаванд. Ин газҳо бо маводе, ки дар ҳолати плазма рехта мешаванд, реаксия карда, маҳсулоти иловагии идоранашавандаро ба вуҷуд меоранд.
2. Истеҳсоли плазма**: Газ тавассути барангехтани басомади радио (РБ) ё барангехтани микроволновка ба плазма табдил меёбад. Дар плазма молекулаҳои газ ионизатсия мешаванд, то радикалҳо ва ионҳои озодро ба вуҷуд оранд, ки метавонанд бо мавод ба таври муассир реаксия кунанд.
3. Оташи интихобӣ**: Оташи хушк метавонад ба интихоби баланд ноил шавад ва маводи мушаххасро интихобан хориҷ карда, дар ҳоле ки дигар маводҳо бетағйир боқӣ мемонад. Ин барои коркарди сохторҳои мураккаб хеле муҳим аст.
Татбиқи коркарди хушк
- Истеҳсоли нимноқилҳо: Барои интиқоли намуна дар вафли кремний барои ташкили схемаҳо истифода мешавад.
- Истеҳсоли MEMS: Коркарди сохтории системаҳои микроэлектромеханикӣ.
- Оптоэлектроника: Истеҳсоли ҷузъҳои оптоэлектронӣ ба монанди лазерҳо ва детекторҳо.
