பொறித்தல்

டெக்சன் உலர் எட்சிங்

உலர் பொறித்தல் என்பது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி மற்றும் நுண் மின்னணுவியல் செயலாக்கத்தில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ஒரு பொறித்தல் நுட்பமாகும். ஈரமான பொறித்தல் போலல்லாமல், உலர் பொறித்தல் திரவ இரசாயனக் கரைசல்களைப் பயன்படுத்துவதில்லை, ஆனால் பொருட்களை அகற்ற வாயு கட்ட எதிர்வினைகளைப் பயன்படுத்துகிறது.

உலர் பொறிப்பின் அடிப்படைக் கொள்கைகள்

1. வாயு வினை**: உலர் செதுக்கலில், ஃப்ளூரைடு மற்றும் குளோரைடு போன்ற வாயுக்கள் பொதுவாக எச்சான்ட்களாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. இந்த வாயுக்கள் பிளாஸ்மா நிலையில் பொறிக்கப்பட வேண்டிய பொருளுடன் வினைபுரிந்து ஆவியாகும் துணைப் பொருட்களை உருவாக்குகின்றன.

2. பிளாஸ்மா உருவாக்கம்**: ரேடியோ அதிர்வெண் (RF) தூண்டுதல் அல்லது நுண்ணலை தூண்டுதல் மூலம் வாயு பிளாஸ்மாவாக மாற்றப்படுகிறது. பிளாஸ்மாவில், வாயு மூலக்கூறுகள் அயனியாக்கம் செய்யப்பட்டு ஃப்ரீ ரேடிக்கல்கள் மற்றும் அயனிகளை உருவாக்குகின்றன, அவை பொருளுடன் திறம்பட வினைபுரியும்.

3. தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட செதுக்குதல்**: உலர் செதுக்குதல் அதிக தேர்ந்தெடுக்கும் தன்மையை அடையலாம் மற்றும் குறிப்பிட்ட பொருட்களைத் தேர்ந்தெடுத்து அகற்றலாம், அதே நேரத்தில் மற்ற பொருட்களை மாற்றாமல் விடலாம். சிக்கலான கட்டமைப்புகளின் செயலாக்கத்திற்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.

உலர் செதுக்கலின் பயன்பாடுகள்

- குறைக்கடத்தி உற்பத்தி: சுற்றுகளை உருவாக்க சிலிக்கான் செதில்களில் வடிவ பரிமாற்றத்திற்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

- MEMS உற்பத்தி: நுண் மின் இயந்திர அமைப்புகளின் கட்டமைப்பு செயலாக்கம்.

- ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக்ஸ்: லேசர்கள் மற்றும் டிடெக்டர்கள் போன்ற ஆப்டோ எலக்ட்ரானிக் கூறுகளை உற்பத்தி செய்தல்.