Sputtering.PVD
1. Magnetronförstoftningsbeläggning är mycket bättre än bågjonbeläggning, och det finns mindre grova dropppartiklar.
2. Film-substratbindningskraften är bättre än den för vakuumförångningsbeläggning. I vakuumförångningsbeläggningstekniken är energin hos atomerna i filmskiktet endast den värmeenergi som transporteras under förångningen, vilket motsvarar 00,1~0,2eV; medan i magnetronförstoftningsbeläggningstekniken genereras energin från filmskiktspartiklarna av argonjonerna och ytatomerna i målet. Utbytet och momentumutbytet kan förbättra bindningskraften mellan membran och bas.
3. Filmskiktets sammansättning är nära målmaterialet. Filmskiktet av magnetronförstoftning sputteras från målet av argonjoner, och filmskiktets sammansättning är mycket nära målmaterialets. Det resulterande "fraktionerings"- eller "sönderdelnings"-fenomenet är relativt lätt jämfört med förångningsplätering. Vid beläggning av en funktionell film med mycket strikta prestandakrav måste emellertid en viss mängd reaktiv gas tillsättas under förstoftningsprocessen för att få filmens sammansatta filmsammansättning att uppfylla det stökiometriska förhållandet för att säkerställa filmens prestandakrav.
4. Beläggningen har god beläggningsprestanda. Vakuumtrycket för förstoftningsbeläggningen är lågt. Den fria vägen för gasmolekyler är kort, kollisionssannolikheten är hög, och jämfört med förångningsbeläggning är spridningsförmågan hos filmpartiklar stark, beläggningsprestandan är god och filmtjockleken är enhetlig.
5. Sputtermål är en ytbeläggningskälla. Längden på både det plana Magnetron-sputtermålet och det cylindriska magnetronmålet kan nå 300 ~ 3000 mm. Även om båda är linjära beläggningskällor, i kombination med arbetsstyckets kontinuerliga rörelse, kan det beläggas på ett stort område av delar. Om en film beläggs på en glasyta med en bredd av 3300 mm kan ett enhetligt filmskikt med olika färger och transmittans erhållas. Magnetronförstoftning har använts i stor utsträckning vid avsättning av tunna filmer med stor yta.
6. Använd förspänning till arbetsstycket. Till en början i Magnetron-förstoftningstekniken. Nuförtiden används magnetronförstoftningsbeläggningsteknik i stor utsträckning på metallsubstrat, och applicering av negativ förspänning på arbetsstycket för att förbättra kvaliteten på filmskiktet har blivit den vanliga tekniken för beläggning av speciella funktionella filmer och avancerade dekorativa produkter.
