Évaporasi résistif
1>. Évaporasi vakum
Évaporasi vakum, disebut évaporasi, nujul kana métode prosés evaporating bahan palapis (atawa bahan pilem) jeung vaporizing eta ku pemanasan sarta évaporasi métode tangtu dina kaayaan vakum, sarta partikel ngapung ka beungeut substrat pikeun ngabentuk pilem. Évaporasi mangrupikeun téknologi déposisi uap anu baheula sareng paling seueur dianggo, anu gaduh kaunggulan metode ngabentuk pilem anu sederhana, kemurnian tinggi sareng kompak pilem ipis, sareng struktur sareng pagelaran pilem anu unik.
2>. Prinsip gawé
Prosés fisik évaporasi ngawengku: évaporasi atawa sublimasi tina bahan disimpen kana partikel gas → angkutan gancang partikel gas tina sumber évaporasi kana beungeut substrat → partikel gas ngagantelkeun kana beungeut substrat pikeun nucleate, tumuwuh jadi film padet → reconstitution atom film ipis atawa ngahasilkeun beungkeutan kimiawi.
Substrat disimpen dina chamber vakum sarta dipanaskeun ku résistansi, sinar éléktron, laser jeung métode séjénna pikeun menguap atawa sublimate bahan pilem na vaporize kana partikel (atom, molekul atawa klaster) kalawan énergi nu tangtu (0.1 ~ 0.3eV). Partikel gas diangkut kana substrat dina gerak linier anu dasarna henteu tabrakan, sareng sababaraha partikel anu ngahontal permukaan substrat dipantulkeun, sareng bagian sanésna diserep dina substrat sareng nyebarkeun dina permukaan, nyababkeun tabrakan dua diménsi antara atom anu disimpen pikeun ngabentuk klaster, sareng sababaraha tiasa tetep dina permukaan pikeun nguap. Kluster partikel terus-terusan tabrakan sareng partikel anu sumebar, boh nyerep atanapi ngaluarkeun partikel tunggal. Prosés ieu diulang sababaraha kali, sarta lamun jumlah partikel dikumpulkeun ngaleuwihan nilai kritis tangtu, éta janten inti stabil, lajeng terus adsorb sarta partikel diffuse sarta laun tumuwuh, sarta tungtungna ngabentuk pilem ipis kontinyu ngaliwatan kontak jeung ngahiji inti stabil padeukeut.
3>. Parameter konci
Tekanan uap jenuh (PV): Tekanan dimana uap bahan anu ngejat dina kamar vakum aya dina kasatimbangan sareng padet atanapi cair dina suhu anu tangtu. Kurva hubungan antara tekanan uap jenuh sareng suhu penting pisan pikeun téknologi fabrikasi pilem, anu tiasa ngabantosan urang milih bahan évaporasi sacara rasional sareng nangtoskeun kaayaan évaporasi.
