Bersihan Plasma

Plasma, kawas padet, cair atawa gas, mangrupakeun kaayaan zat, disebut oge kaayaan kaopat zat. Nerapkeun énergi anu cukup pikeun gas pikeun ngaionisasi éta bakal janten kaayaan plasma. Komponén "aktif" plasma ngawengku: ion, éléktron, gugus aktip, nuclides bungah (kaayaan metastabil), foton, jsb Alat perlakuan permukaan plasma ngagunakeun sipat komponén aktif ieu pikeun ngubaran beungeut sampel, kukituna achieving tujuan beberesih, modifikasi, photoresist ashing, jsb.

Struktur mesin beberesih plasma utamana dibagi kana tilu bagian utama, unit kontrol, chamber vakum sarta pompa vakum.

Kaunggulan tina beberesih plasma nyaéta kieu:

I) Obyék beberesih garing saatos beberesih plasma sareng tiasa dikirim ka prosés salajengna tanpa pengeringan salajengna. Bisa ngaronjatkeun efisiensi processing sakabéh garis prosés;

2) Plasma beberesih ngamungkinkeun pamaké pikeun tetep jauh ti ngarugikeun tina pangleyur ngabahayakeun pikeun awak manusa, sarta ogé avoids masalah gampang ruksakna objék beberesih dina beberesih baseuh;

3) Hindarkeun ngagunakeun pangleyur ngabahayakeun ODS sapertos trichloroethane, ku kituna henteu aya polutan ngabahayakeun anu bakal ngahasilkeun saatos beberesih, ku kituna metode beberesih ieu mangrupikeun metode beberesih héjo anu ramah lingkungan. Ieu jadi beuki penting salaku dunya nengetan deukeut panyalindungan lingkungan;

4) Plasma dihasilkeun ku frékuénsi luhur dina rentang gelombang radio béda ti lampu langsung kayaning lasers. Plasma henteu pisan arah, anu ngamungkinkeun pikeun nembus kana liang leutik sareng recesses hiji obyék pikeun ngarengsekeun tugas beberesih, jadi teu perlu mertimbangkeun bentuk objék cleaned teuing. Leuwih ti éta, éfék beberesih dina wewengkon hésé-to-bersih ieu sarupa atawa malah leuwih hade tinimbang beberesih Freon;

5) Ngagunakeun beberesih plasma bisa greatly ngaronjatkeun efisiensi beberesih. Sakabéh prosés beberesih bisa réngsé dina sababaraha menit, ku kituna mibanda ciri ngahasilkeun tinggi;

6) Gelar vakum anu kedah dikontrol pikeun beberesih plasma sakitar 100Pa, sareng kaayaan beberesih ieu gampang dihontal. Ku alatan éta, biaya alat alat ieu teu luhur, sarta prosés beberesih teu merlukeun pamakéan pangleyur organik mahal, nu ngajadikeun biaya sakabéh leuwih handap tina prosés beberesih baseuh tradisional;

7) Plasma beberesih avoids transportasi, neundeun, sarta ngurangan cairan beberesih, jadi situs produksi gampang tetep beresih jeung hygienic;

8) beberesih plasma bisa dipaké paduli obyek perlakuan. Bisa ngubaran rupa-rupa bahan, naha éta logam, semikonduktor, oksida, atawa bahan polimér (kayaning polipropilén, polyvinyl klorida, polytetrafluoroethylene, polyimide, poliéster, résin epoxy jeung polimér séjén). Ku alatan éta, utamana cocog pikeun panas-tahan jeung bahan pangleyur-tahan. Leuwih ti éta, sakabéh, struktur parsial atawa kompléks bahan bisa selektif cleaned;

9) Nalika ngabéréskeun beberesih sareng dekontaminasi, sipat permukaan bahan éta sorangan ogé tiasa ningkat. Contona, ngaronjatkeun sipat wetting tina beungeut cai sarta ngaronjatkeun adhesion pilem pohara penting dina loba aplikasi.