Évaporasi E-Beam

Évaporasi berkas éléktron nyaéta jenis déposisi uap fisik. Beda sareng metode évaporasi tradisional, évaporasi sinar éléktron ngagunakeun koordinasi médan éléktromagnétik pikeun sacara akurat ngahontal panggunaan éléktron énergi tinggi pikeun ngabom bahan target dina crucible, ngalembereh teras disimpen dina substrat. Évaporasi pancaran éléktron tiasa nyimpen pilem anu murni sareng presisi tinggi.

Évaporasi sinar éléktron ngagunakeun éléktron gancangan pikeun bombard bahan palapis. Énergi kinétik éléktron dirobah jadi énergi panas pikeun panas sarta menguap bahan palapis sarta ngabentuk film. pakarang éléktron dibagi kana tipe langsung, ring jeung E. Karakteristik évaporasi pamanasan sinar éléktron nyaéta yén éta tiasa kéngingkeun dénsitas énergi anu luhur pisan, dugi ka 109w / cm2, sareng suhu pemanasan tiasa ngahontal 3000-6000 ℃. Bisa ngejat logam refractory atawa sanyawa; bahan ngejat disimpen dina crucible cai-tiis pikeun nyegah kontaminasi tina bahan crucible. Éléktron évaporasi pancaran évaporasi bisa nyiapkeun pilem-purity tinggi. Dina waktu nu sarua, sababaraha crucibles bisa ditempatkeun dina alat déposisi évaporasi sarua pikeun ngahontal évaporasi simultaneous atawa misah tur déposisi rupa-rupa zat béda. Paling bahan bisa ngejat ku évaporasi sinar éléktron.

Évaporasi sinar éléktron bisa nguap bahan titik lebur tinggi. Éta gaduh efisiensi termal anu langkung luhur, kapadetan sinar anu langkung ageung, sareng laju évaporasi langkung gancang tibatan évaporasi pemanasan résistansi umum. Film nu dihasilkeun ngabogaan purity tinggi jeung kualitas alus. ketebalan nu bisa akurat dikawasa. Ieu bisa loba dipaké pikeun nyiapkeun rupa-rupa film bahan optik kayaning pilem-purity tinggi na kaca conductive.

Évaporasi pancaran éléktron sering dianggo pikeun nyiapkeun pilem alloy atanapi oksida Al, CO, Ni, sareng Fe, SiO2, film ZrO2, sareng film oksida tahan korosi sareng suhu luhur.

Dina watesan fungsi, téhnologi palapis sinar éléktron boga ciri handap:

I) palapis-precision High: Ieu bisa ngahontal kadali tepat ketebalan pilem sarta komposisi, kukituna Nyiapkeun pilem kalawan sipat husus.

2) adjustability Strong: Sipat fisik jeung kimia pilem bisa gampang disaluyukeun pikeun minuhan kaperluan aplikasi béda.

3). Pilem kualitas luhur: Pilem anu disiapkeun ngagaduhan kaseragaman anu saé, kapadetan sareng stabilitas.

4) Wide rentang aplikasi: Ieu cocog pikeun palapis tina rupa-rupa bahan, kaasup logam, semikonduktor, oksida, jsb