Sputtering.PVD

1. Veshja me spërkatje me Magnetron është shumë më e mirë se veshja e joneve të harkut, dhe ka më pak grimca pikash të trashë.

2. Forca e lidhjes film-substrat është më e mirë se ajo e veshjes së avullimit me vakum. Në teknologjinë e veshjes së avullimit me vakum, energjia e atomeve në shtresën e filmit është vetëm energjia e nxehtësisë e bartur gjatë avullimit, e cila është e barabartë me 00.1-0.2eV; ndërsa në teknologjinë e veshjes me spërkatje me magnetron, energjia e grimcave të shtresës së filmit gjenerohet nga jonet e argonit dhe atomet sipërfaqësore të objektivit. Shkëmbimi dhe shkëmbimi i momentit mund të përmirësojnë forcën lidhëse të membranës-bazë.

3. Përbërja e shtresës së filmit është afër materialit të synuar. Shtresa e filmit të spërkatjes së magnetronit shpërndahet nga objektivi nga jonet e argonit dhe përbërja e shtresës së filmit është shumë afër asaj të materialit të synuar. Fenomeni i "fraksionimit" ose "dekompozimit" që rezulton është relativisht i lehtë në krahasim me pllakën e avullimit. Sidoqoftë, përgjithësisht kur lyhet një film funksional me kërkesa shumë strikte të performancës, një sasi e caktuar gazi reaktiv duhet të shtohet gjatë procesit të spërkatjes për të bërë që përbërja e filmit të përbërë të filmit të përmbushë raportin stoikiometrik për të siguruar kërkesat e performancës së filmit.

4. Veshja ka performancë të mirë të veshjes. Presioni i vakumit të veshjes me spërkatje është i ulët. Rruga e lirë e molekulave të gazit është e shkurtër, probabiliteti i përplasjes është i lartë, dhe në krahasim me veshjen e avullimit, aftësia e shpërndarjes së grimcave të filmit është e fortë, performanca e veshjes është e mirë dhe trashësia e filmit është uniforme.

5. Objektivi i spërkatjes është një burim mbulimi i llojit të zonës. Gjatësia e objektivit të spërkatjes së aeroplanit të Magnetronit dhe objektivit cilindrik të magnetronit mund të arrijë 300~3000 mm. Megjithëse të dyja janë burime lineare të veshjes, së bashku me lëvizjen e vazhdueshme të pjesës së punës, ajo mund të lyhet në një sipërfaqe të madhe pjesësh. Nëse një film është i veshur në një sipërfaqe xhami me gjerësi 3300 mm, mund të merret një shtresë filmi uniforme me ngjyra dhe transmetim të ndryshëm. Spërkatja me magnetron është përdorur gjerësisht në depozitimin e filmave të hollë me sipërfaqe të madhe.

6. Përdorni tensionin e paragjykimit në pjesën e punës. Në fillim, në teknologjinë e spërkatjes Magnetron. Në ditët e sotme, teknologjia e veshjes së spërkatjes me magnetron përdoret gjerësisht në nënshtresat metalike, dhe aplikimi i tensionit negativ të paragjykimit në pjesën e punës për të përmirësuar cilësinë e shtresës së filmit është bërë teknologjia kryesore për veshjen e filmave të veçantë funksionalë dhe produkteve dekorative të nivelit të lartë.