Gravurë
Parimet themelore të gdhendjes së thatë
1. Reaksioni i gazit**: Në gravurë të thatë, zakonisht përdoren gazra të tillë si fluori dhe kloruri si gravurë. Këto gaze reagojnë me materialin që do të gdhendet në një gjendje plazmatike për të formuar nënprodukte të paqëndrueshme.
2. Gjenerimi i plazmës**: Gazi shndërrohet në plazmë me anë të ngacmimit të radiofrekuencës (RF) ose ngacmimit me mikrovalë. Në plazmë, molekulat e gazit jonizohen për të prodhuar radikale dhe jone të lira, të cilat mund të reagojnë në mënyrë efektive me materialin.
3. Gravurë selektive**: Gravimi i thatë mund të arrijë selektivitet të lartë dhe mund të heqë në mënyrë selektive materiale specifike duke lënë materiale të tjera të pandryshuara. Kjo është shumë e rëndësishme për përpunimin e strukturave komplekse.
Aplikimet e gravurës së thatë
- Prodhimi i gjysmëpërçuesve: Përdoret për transferimin e modeleve në vaferë silikoni për të formuar qarqe.
- Prodhimi MEMS: Përpunimi strukturor i sistemeve mikroelektromekanike.
- Optoelektronika: Prodhimi i komponentëve optoelektronikë si lazerët dhe detektorët.
