Tusia
O mataupu faavae o le togitogi mago
1. Tali kasa**: I le etching mago, kasa e pei ole fluoride ma chloride e masani ona faʻaaogaina e pei o etchants. O nei kasa e fegalegaleai ma mea e togitogia i se tulaga plasma e fausia ai ni mea e maua mai i le tino.
2. Fa'atupuina o le Plasma**: O le kesi ua liua i le plasma e ala i le fa'avevela o le leitio (RF) po'o le fa'avevelaina o microwave. I totonu o le plasma, o loʻo faʻapipiʻiina mole kesi e maua ai faʻamalosi saoloto ma ions, lea e mafai ona tali lelei ma mea.
3. Fa'ailoga filifilia**: E mafai e le togitogi mago ona maua le maualuga o le filifilia ma e mafai ona fa'ate'a ese mea fa'apitoa a'o tu'u isi mea e le suia. E taua tele lenei mea mo le faʻagasologa o fausaga faʻalavelave.
Fa'aaogāga o fa'amago
- Semiconductor gaosiga: Fa'aaogaina mo le fa'aliliuina o mamanu i luga o u'amea fa'ama'i kasa e fai ai ta'amilosaga.
- MEMS gaosiga: Faʻasologa faʻatulagaina o faiga microelectromechanical.
- Optoelectronics: Gaosi mea fa'apitoa e pei o lasers ma fa'amatalaga.
