ඉසීම.PVD

1. චුම්බක ස්පුටරින් ආලේපනය චාප අයන ආලේපනයට වඩා බෙහෙවින් හොඳ වන අතර රළු බිංදු අංශු අඩුය.

2. පටල-උපස්ථර බන්ධන බලය රික්තක වාෂ්පීකරණ ආලේපනයට වඩා හොඳය. රික්තක වාෂ්පීකරණ ආලේපන තාක්ෂණයේදී, පටල ස්ථරයේ පරමාණුවල ශක්තිය වාෂ්පීකරණයේදී ගෙන යන තාප ශක්තිය පමණක් වන අතර එය 00.1~0.2eV ට සමාන වේ; මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් ආලේපන තාක්ෂණයේදී, පටල ස්ථර අංශුවල ශක්තිය ආගන් අයන සහ ඉලක්කයේ මතුපිට පරමාණු මගින් ජනනය වේ. හුවමාරුව සහ ගම්‍යතා හුවමාරුව පටල-පාදක බන්ධන බලය වැඩි දියුණු කළ හැකිය.

3. පටල ස්ථරයේ සංයුතිය ඉලක්කගත ද්‍රව්‍යයට ආසන්නයි. මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් කිරීමේ පටල ස්ථරය ඉලක්කයෙන් ආගන් අයන මගින් ඉසිනු ලබන අතර, පටල ස්ථරයේ සංයුතිය ඉලක්කගත ද්‍රව්‍යයට ඉතා ආසන්නයි. එහි ප්‍රතිඵලයක් ලෙස "භාගීකරණය" හෝ "වියෝජනය" සංසිද්ධිය වාෂ්පීකරණ ආලේපනයට සාපේක්ෂව සාපේක්ෂව සැහැල්ලු ය. කෙසේ වෙතත්, සාමාන්‍යයෙන් ඉතා දැඩි කාර්ය සාධන අවශ්‍යතා සහිත ක්‍රියාකාරී පටලයක් ආලේප කරන විට, චිත්‍රපටයේ ක්‍රියාකාරීත්ව අවශ්‍යතා සහතික කිරීම සඳහා චිත්‍රපටයේ සංයෝග පටල සංයුතිය ස්ටොයිකියෝමිතික අනුපාතය සපුරාලීම සඳහා ස්පුටරින් ක්‍රියාවලියේදී යම් ප්‍රතික්‍රියාශීලී වායුවක් එකතු කළ යුතුය.

4. ආලේපනය හොඳ ආලේපන කාර්ය සාධනයක් ඇත. ඉසින ආලේපනයේ රික්ත පීඩනය අඩුය. වායු අණු වල නිදහස් මාර්ගය කෙටි වේ, ගැටීමේ සම්භාවිතාව ඉහළ ය, සහ වාෂ්පීකරණ ආලේපනයට සාපේක්ෂව, පටල අංශුවල විසිරුම් හැකියාව ශක්තිමත් ය, ආලේපන කාර්ය සාධනය හොඳයි, සහ පටල ඝණකම ඒකාකාර වේ.

5. ස්පුටරින් ඉලක්කය යනු ප්‍රදේශ වර්ගයේ ආලේපන ප්‍රභවයකි. තල මැග්නෙට්‍රෝන ස්පුටරින් ඉලක්කයේ සහ සිලින්ඩරාකාර මැග්නෙට්‍රෝන ඉලක්කයේ දිග 300 ~ 3000 mm දක්වා ළඟා විය හැකිය. දෙකම රේඛීය ආලේපන ප්‍රභවයන් වුවද, වැඩ කොටසෙහි අඛණ්ඩ චලනය සමඟ සම්බන්ධ වී, එය විශාල කොටස් ප්‍රදේශයක ආලේප කළ හැකිය. 3300mm පළලක් සහිත වීදුරු මතුපිටක් මත පටලයක් ආලේප කර ඇත්නම්, විවිධ වර්ණ හා සම්ප්‍රේෂණය සහිත ඒකාකාර පටල තට්ටුවක් ලබා ගත හැකිය. විශාල ප්‍රදේශයක තුනී පටල තැන්පත් කිරීමේදී මැග්නෙට්‍රෝන ස්පුටරින් බහුලව භාවිතා වී ඇත.

6. වැඩ කොටසට නැඹුරු වෝල්ටීයතාවය භාවිතා කරන්න. මුලදී, මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් තාක්ෂණයේ. වර්තමානයේ, මැග්නට්‍රෝන ස්පුටරින් ආලේපන තාක්ෂණය ලෝහ උපස්ථර මත බහුලව භාවිතා වන අතර, පටල ස්ථරයේ ගුණාත්මකභාවය වැඩි දියුණු කිරීම සඳහා වැඩ කොටසට සෘණ නැඹුරු වෝල්ටීයතාවය යෙදීම විශේෂ ක්‍රියාකාරී පටල සහ උසස් අලංකාර නිෂ්පාදන ආලේප කිරීම සඳහා ප්‍රධාන ධාරාවේ තාක්ෂණය බවට පත්ව ඇත.