කැටයම් කිරීම
වියළි කැටයම් කිරීමේ මූලික මූලධර්ම
1. වායු ප්‍රතික්‍රියාව**: වියළි කැටයම් කිරීමේදී, ෆ්ලෝරයිඩ් සහ ක්ලෝරයිඩ් වැනි වායූන් සාමාන්‍යයෙන් කැටයම්කාරක ලෙස භාවිතා කරයි. මෙම වායූන් ප්ලාස්මා තත්වයකදී කැටයම් කළ යුතු ද්‍රව්‍ය සමඟ ප්‍රතික්‍රියා කර වාෂ්පශීලී අතුරු නිෂ්පාදන සාදයි.
2. ප්ලාස්මා උත්පාදනය**: රේඩියෝ සංඛ්‍යාත (RF) උද්දීපනය හෝ ක්ෂුද්‍ර තරංග උද්දීපනය මගින් වායුව ප්ලාස්මා බවට පරිවර්තනය වේ. ප්ලාස්මාව තුළ, වායු අණු අයනීකරණය කර නිදහස් රැඩිකලුන් සහ අයන නිපදවන අතර එමඟින් ද්‍රව්‍ය සමඟ ඵලදායී ලෙස ප්‍රතික්‍රියා කළ හැකිය.
3. වරණීය කැටයම්**: වියළි කැටයම් මඟින් ඉහළ තෝරා ගැනීමේ හැකියාවක් ලබා ගත හැකි අතර අනෙකුත් ද්‍රව්‍ය නොවෙනස්ව තබා ගනිමින් නිශ්චිත ද්‍රව්‍ය තෝරා බේරා ඉවත් කළ හැකිය. සංකීර්ණ ව්‍යුහයන් සැකසීම සඳහා මෙය ඉතා වැදගත් වේ.
වියළි කැටයම් යෙදීම්
- අර්ධ සන්නායක නිෂ්පාදනය: පරිපථ සෑදීම සඳහා සිලිකන් වේෆර් මත රටා මාරු කිරීම සඳහා භාවිතා වේ.
- MEMS නිෂ්පාදනය: ක්ෂුද්‍ර විද්‍යුත් යාන්ත්‍රික පද්ධතිවල ව්‍යුහාත්මක සැකසුම්.
- දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික්ස්: ලේසර් සහ අනාවරක වැනි දෘෂ්ටි ඉලෙක්ට්‍රොනික සංරචක නිෂ්පාදනය කිරීම.
