نقاشي
خشڪ نقاشي جا بنيادي اصول
1. گيس جو رد عمل**: خشڪ ايچنگ ۾، فلورائيڊ ۽ ڪلورائڊ جهڙيون گيسون عام طور تي ايچنٽ طور استعمال ٿينديون آهن. اهي گيسون پلازما حالت ۾ ايچنگ ڪرڻ لاءِ مواد سان رد عمل ڪندي غير مستحڪم ضمني پيداوار ٺاهينديون آهن.
2. پلازما جي پيداوار**: گئس کي ريڊيو فريڪوئنسي (RF) ايڪسائيٽيشن يا مائڪرو ويڪرو ايڪسائيٽيشن ذريعي پلازما ۾ تبديل ڪيو ويندو آهي. پلازما ۾، گئس جي ماليڪيولن کي آزاد ريڊيڪل ۽ آئن پيدا ڪرڻ لاءِ آئنائيز ڪيو ويندو آهي، جيڪي مواد سان مؤثر طريقي سان رد عمل ڪري سگهن ٿا.
3. چونڊيل نقاشي**: خشڪ نقاشي اعليٰ چونڊ حاصل ڪري سگهي ٿي ۽ مخصوص مواد کي چونڊيل طور تي هٽائي سگهي ٿي جڏهن ته ٻين مواد کي تبديل نه ڪيو وڃي. هي پيچيده بناوتن جي پروسيسنگ لاءِ تمام ضروري آهي.
خشڪ ايچنگ جا استعمال
- سيمي ڪنڊڪٽر جي پيداوار: سرڪٽ ٺاهڻ لاءِ سلڪون ويفرز تي نمونن جي منتقلي لاءِ استعمال ڪيو ويندو آهي.
- ايم اي ايم ايس جي پيداوار: مائڪرو اليڪٽرو ميڪنيڪل سسٽم جي ساخت جي پروسيسنگ.
- آپٽو اليڪٽرانڪس: ليزر ۽ ڊيٽيڪٽر جهڙن آپٽو اليڪٽرانڪ حصن جي پيداوار.
