Электронно-лучевое испарение

Электронно-лучевое испарение — это тип физического осаждения из паровой фазы. В отличие от традиционных методов испарения, электронно-лучевое испарение использует координацию электромагнитных полей для точного достижения использования высокоэнергетических электронов для бомбардировки целевого материала в тигле, расплавления его и последующего осаждения на подложку. Электронно-лучевое испарение позволяет наносить высокочистые и высокоточные пленки.

Испарение электронным лучом использует ускоренные электроны для бомбардировки материала покрытия. Кинетическая энергия электронов преобразуется в тепловую энергию для нагрева и испарения материала покрытия и формирования пленки. Электронные пушки делятся на прямые, кольцевые и E-типы. Характеристики испарения электронным лучом заключаются в том, что оно может получать чрезвычайно высокую плотность энергии, до 109 Вт/см2, а температура нагрева может достигать 3000-6000 ℃. Оно может испарять тугоплавкие металлы или соединения; испаряемый материал помещается в водоохлаждаемый тигель, чтобы избежать загрязнения материала тигля. Осаждение электронным лучом может готовить высокочистые пленки. В то же время несколько тиглей могут быть помещены в одно и то же устройство для осаждения испарением, чтобы добиться одновременного или раздельного испарения и осаждения различных веществ. Большинство материалов можно испарять с помощью испарения электронным лучом.

Электронно-лучевое испарение может испарять материалы с высокой температурой плавления. Оно имеет более высокую тепловую эффективность, большую плотность пучка и более высокую скорость испарения, чем обычное резистивное нагревательное испарение. Полученная пленка имеет высокую чистоту и хорошее качество. Толщину можно точно контролировать. Его можно широко использовать для приготовления различных оптических пленок материалов, таких как высокочистые пленки и проводящее стекло.

Электронно-лучевое испарение часто используется для получения сплавов или оксидных пленок Al, CO, Ni и Fe, пленок SiO2, ZrO2, а также коррозионно-стойких и стойких к высоким температурам оксидных пленок.

С точки зрения функциональности технология электронно-лучевого покрытия имеет следующие характеристики:

I) Высокоточное покрытие: позволяет осуществлять точный контроль толщины и состава пленки, тем самым получая пленки с определенными свойствами.

2) Широкие возможности регулировки: физические и химические свойства пленки можно легко регулировать в соответствии с потребностями различных областей применения.

3). Высококачественная пленка: Изготовленная пленка имеет хорошую однородность, плотность и стабильность.

4) Широкий спектр применения: подходит для покрытия различных материалов, включая металлы, полупроводники, оксиды и т. д.