Pulverização catódica.PVD
1. O revestimento por pulverização catódica magnetron é muito melhor que o revestimento por íons de arco, e há menos partículas de gotículas grossas.
2. A força de ligação filme-substrato é melhor do que a do revestimento de evaporação a vácuo. Na tecnologia de revestimento de evaporação a vácuo, a energia dos átomos na camada de filme é apenas a energia térmica transportada durante a evaporação, que é equivalente a 00,1~0,2eV; enquanto na tecnologia de revestimento de pulverização catódica magnetron, a energia das partículas da camada de filme é gerada pelos íons argônio e pelos átomos da superfície do alvo. A troca e a troca de momento podem melhorar a força de ligação da membrana-base.
3. A composição da camada de filme é próxima ao material alvo. A camada de filme de pulverização catódica magnetron é pulverizada do alvo por íons argônio, e a composição da camada de filme é muito próxima à do material alvo. O fenômeno de "fracionamento" ou "decomposição" resultante é relativamente leve em comparação com o revestimento por evaporação. No entanto, geralmente ao revestir um filme funcional com requisitos de desempenho muito rigorosos, uma certa quantidade de gás reativo deve ser adicionada durante o processo de pulverização catódica para fazer com que a composição do filme composto do filme atenda à razão estequiométrica para garantir os requisitos de desempenho do filme.
4. O revestimento tem bom desempenho de revestimento. A pressão de vácuo do revestimento de pulverização catódica é baixa. O caminho livre das moléculas de gás é curto, a probabilidade de colisão é alta e, em comparação com o revestimento de evaporação, a capacidade de dispersão das partículas do filme é forte, o desempenho do revestimento é bom e a espessura do filme é uniforme.
5. O alvo de pulverização catódica é uma fonte de revestimento do tipo área. O comprimento do alvo de pulverização catódica Magnetron plano e do alvo magnetron cilíndrico pode atingir 300~3000 mm. Embora ambos sejam fontes de revestimento linear, juntamente com o movimento contínuo da peça de trabalho, ele pode ser revestido em uma grande área de peças. Se um filme for revestido em uma superfície de vidro com uma largura de 3300 mm, uma camada de filme uniforme com cores e transmitância diferentes pode ser obtida. A pulverização catódica Magnetron tem sido amplamente usada na deposição de filmes finos de grande área.
6. Use tensão de polarização para a peça de trabalho. No início, na tecnologia de pulverização catódica Magnetron. Hoje em dia, a tecnologia de revestimento de pulverização catódica magnetron é amplamente usada em substratos de metal, e aplicar tensão de polarização negativa à peça de trabalho para melhorar a qualidade da camada de filme se tornou a tecnologia principal para revestir filmes funcionais especiais e produtos decorativos de ponta.
