PECVD
PECVD (Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition) é uma tecnologia usada para depositar filmes finos na superfície de substratos.
O princípio inclui principalmente as seguintes etapas:
1. Introdução de precursores de gás:através de precursores gasosos específicos (como silano, amônia, etc.) para dentro da câmara de reação. Esses gases, sob as condições certas, se decompõem e formam uma película sólida.
2. Geração de plasma:O plasma é gerado na câmara de reação pela aplicação de um campo elétrico de alta frequência ou de um campo elétrico de corrente contínua. Esse processo excita moléculas de gás, ionizando-as e gerando partículas carregadas (elétrons, íons, etc.) e partículas neutras.
3. Reação química:Sob a ação do plasma, o precursor gasoso se decompõe em espécies ativas (como átomos, moléculas, etc.), que reagem na superfície do substrato para formar uma película fina. Devido à presença do plasma, a taxa de reação é geralmente alta e pode ser depositada em temperaturas mais baixas, tornando-o adequado para materiais sensíveis ao calor.
4. Deposição de filmes finos:Espécies ativas se agregam na superfície do substrato e sofrem reações químicas para formar filmes sólidos. Durante o processo de deposição, o ajuste de parâmetros como temperatura, pressão e fluxo de gás pode afetar a qualidade e as propriedades do filme.
5. Controle das características do filme fino:Alterando o tipo, a vazão, a pressão de reação e a potência do plasma do precursor, é possível realizar a deposição de diferentes tipos de filmes finos, como nitreto de silício, óxido de silício, etc., para regular suas propriedades elétricas, ópticas e mecânicas.
O PECVD é amplamente utilizado em semicondutores, dispositivos optoeletrônicos, células solares e outros campos, e é valorizado por suas vantagens em termos de qualidade de filme fino e condições de deposição.
