Evaporação por feixe de elétrons
A evaporação por feixe de elétrons é um tipo de deposição física de vapor. Diferentemente dos métodos de evaporação tradicionais, a evaporação por feixe de elétrons utiliza a coordenação de campos eletromagnéticos para atingir com precisão o uso de elétrons de alta energia para bombardear o material alvo no cadinho, fundi-lo e, em seguida, depositá-lo no substrato. A evaporação por feixe de elétrons pode depositar filmes de alta pureza e precisão.
A evaporação por feixe de elétrons utiliza elétrons acelerados para bombardear o material de revestimento. A energia cinética dos elétrons é convertida em energia térmica para aquecer e evaporar o material de revestimento, formando um filme. Os canhões de elétrons são divididos em tipos direto, anelar e E. As características da evaporação por aquecimento por feixe de elétrons são que ela pode obter densidades de energia extremamente altas, de até 109 W/cm², e a temperatura de aquecimento pode atingir 3000-6000 ℃. Ela pode evaporar metais ou compostos refratários; o material evaporado é colocado em um cadinho resfriado a água para evitar a contaminação do material do cadinho. A deposição por evaporação por feixe de elétrons pode preparar filmes de alta pureza. Ao mesmo tempo, vários cadinhos podem ser colocados no mesmo dispositivo de deposição por evaporação para obter evaporação e deposição simultâneas ou separadas de uma variedade de substâncias diferentes. A maioria dos materiais pode ser evaporada por evaporação por feixe de elétrons.
A evaporação por feixe de elétrons pode evaporar materiais com alto ponto de fusão. Possui maior eficiência térmica, maior densidade de feixe e velocidade de evaporação mais rápida do que a evaporação por aquecimento por resistência convencional. O filme produzido possui alta pureza e boa qualidade. A espessura pode ser controlada com precisão. Pode ser amplamente utilizado na preparação de diversos filmes de materiais ópticos, como filmes de alta pureza e vidros condutores.
A evaporação por feixe de elétrons é frequentemente usada para preparar filmes de liga ou óxido de Al, CO, Ni e Fe, filmes de SiO2, ZrO2 e filmes de óxido resistentes à corrosão e a altas temperaturas.
Em termos de função, a tecnologia de revestimento por feixe de elétrons tem as seguintes características:
I) Revestimento de alta precisão: permite obter controle preciso da espessura e composição do filme, preparando assim filmes com propriedades específicas.
2) Forte ajustabilidade: As propriedades físicas e químicas do filme podem ser facilmente ajustadas para atender às necessidades de diferentes aplicações.
3). Filme de alta qualidade: O filme preparado tem boa uniformidade, densidade e estabilidade.
4) Ampla gama de aplicações: É adequado para revestimento de uma variedade de materiais, incluindo metais, semicondutores, óxidos, etc.
