ایچینګ
د وچ ایچنګ اساسي اصول
۱. د ګاز تعامل**: په وچ ایچنګ کې، ګازونه لکه فلورایډ او کلورایډ معمولا د ایچنګ په توګه کارول کیږي. دا ګازونه د پلازما په حالت کې د ایچنګ کولو لپاره د موادو سره تعامل کوي ترڅو بې ثباته فرعي محصولات جوړ کړي.
۲. د پلازما تولید**: ګاز د راډیو فریکونسي (RF) هڅونې یا مایکروویو هڅونې له لارې پلازما ته بدلیږي. په پلازما کې، د ګاز مالیکولونه ایونیز شوي ترڅو آزاد رادیکالونه او ایونونه تولید کړي، کوم چې کولی شي په مؤثره توګه د موادو سره غبرګون وښيي.
۳. انتخابي نقاشي**: وچ نقاشي کولی شي لوړه انتخابي وړتیا ترلاسه کړي او کولی شي ځانګړي مواد په انتخابي ډول لرې کړي پداسې حال کې چې نور مواد بدل نه شي. دا د پیچلو جوړښتونو پروسس کولو لپاره خورا مهم دی.
د وچ ایچنګ کارول
- د سیمیکمډکټر تولید: د سیلیکون ویفرونو د نمونې لیږد لپاره کارول کیږي ترڅو سرکټونه جوړ کړي.
- د MEMS تولید: د مایکرو الیکټرو میخانیکي سیسټمونو ساختماني پروسس کول.
- آپټو الیکترونیک: د آپټو الیکترونیک اجزاو تولید لکه لیزرونه او کشف کونکي.
