Rozpylanie PVD

1. Powłoka napylana magnetronowo jest dużo lepsza od powłoki napylanej łukiem jonowym, a ponadto zawiera mniej grubych cząstek kropelek.

2. Siła wiązania filmu z podłożem jest lepsza niż w przypadku powlekania metodą parowania próżniowego. W technologii powlekania metodą parowania próżniowego energia atomów w warstwie filmu to tylko energia cieplna przenoszona podczas parowania, co odpowiada 0,01~0,2 eV; podczas gdy w technologii powlekania metodą rozpylania magnetronowego energia cząstek warstwy filmu jest generowana przez jony argonu i atomy powierzchniowe celu. Wymiana i wymiana pędu mogą poprawić siłę wiązania membrany z podstawą.

3. Skład warstwy filmu jest zbliżony do materiału docelowego. Warstwa filmu rozpylania magnetronowego jest rozpylana z celu przez jony argonu, a skład warstwy filmu jest bardzo zbliżony do składu materiału docelowego. Powstałe zjawisko „frakcjonowania” lub „rozpadu” jest stosunkowo lekkie w porównaniu z galwanizacją przez parowanie. Jednak ogólnie rzecz biorąc, podczas powlekania funkcjonalnej folii o bardzo rygorystycznych wymaganiach dotyczących wydajności, pewna ilość gazu reaktywnego musi zostać dodana podczas procesu rozpylania, aby skład złożonej folii spełniał stosunek stechiometryczny, aby zapewnić wymagania dotyczące wydajności folii.

4. Powłoka ma dobre właściwości powlekania. Ciśnienie próżniowe powłoki rozpylanej jest niskie. Swobodna droga cząsteczek gazu jest krótka, prawdopodobieństwo kolizji jest wysokie, a w porównaniu do powłoki parowej, zdolność rozpraszania cząstek filmu jest silna, wydajność powłoki jest dobra, a grubość filmu jest jednolita.

5. Cel rozpylania jest źródłem powłoki typu obszarowego. Długość zarówno płaskiego celu rozpylania magnetronowego, jak i cylindrycznego celu magnetronowego może osiągnąć 300~3000 mm. Chociaż oba są liniowymi źródłami powłoki, w połączeniu z ciągłym ruchem przedmiotu obrabianego, można powlekać dużą powierzchnię części. Jeśli folia jest powlekana na powierzchni szkła o szerokości 3300 mm, można uzyskać jednolitą warstwę folii o różnych kolorach i przepuszczalności. Rozpylanie magnetronowe jest szeroko stosowane do osadzania cienkich warstw o ​​dużych powierzchniach.

6. Użyj napięcia polaryzacji do przedmiotu obrabianego. Na początku w technologii rozpylania magnetronowego. Obecnie technologia powlekania rozpylaniem magnetronowym jest szeroko stosowana na podłożach metalowych, a zastosowanie ujemnego napięcia polaryzacji do przedmiotu obrabianego w celu poprawy jakości warstwy folii stało się główną technologią powlekania specjalnych folii funkcjonalnych i wysokiej jakości produktów dekoracyjnych.