Akwaforta
Podstawowe zasady trawienia na sucho
1. Reakcja gazowa**: W trawieniu suchym gazy takie jak fluorek i chlorek są zwykle używane jako środki trawiące. Gazy te reagują z materiałem do trawienia w stanie plazmy, tworząc lotne produkty uboczne.
2. Generowanie plazmy**: Gaz jest przekształcany w plazmę za pomocą wzbudzenia częstotliwością radiową (RF) lub wzbudzenia mikrofalowego. W plazmie cząsteczki gazu są jonizowane, aby wytworzyć wolne rodniki i jony, które mogą skutecznie reagować z materiałem.
3. Selektywne trawienie**: Suche trawienie może osiągnąć wysoką selektywność i selektywnie usuwać określone materiały, pozostawiając inne materiały niezmienione. Jest to bardzo ważne w przypadku przetwarzania złożonych struktur.
Zastosowania trawienia na sucho
- Produkcja półprzewodników: Stosowana do przenoszenia wzorów na płytki krzemowe w celu tworzenia obwodów.
- Produkcja elementów MEMS: Obróbka strukturalna mikrosystemów elektromechanicznych.
- Optoelektronika: Produkcja elementów optoelektronicznych, takich jak lasery i detektory.
