ସ୍ପଟରିଂ।ପିଭିଡି

୧. ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ଆର୍କ ଆୟନ୍ ଆବରଣ ଅପେକ୍ଷା ବହୁତ ଭଲ, ଏବଂ ଏଥିରେ କମ୍ ମୋଟା ବୁନ୍ଦା କଣିକା ଥାଏ।

2. ଫିଲ୍ମ-ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍ ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତି ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନୀକରଣ ଆବରଣ ଅପେକ୍ଷା ଭଲ। ଭାକ୍ୟୁମ୍ ବାଷ୍ପୀଭବନୀକରଣ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ, ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ପରମାଣୁଗୁଡ଼ିକର ଶକ୍ତି କେବଳ ବାଷ୍ପୀଭବନ ସମୟରେ ବହନ କରାଯାଉଥିବା ତାପ ଶକ୍ତି, ଯାହା 00.1~0.2eV ସହିତ ସମାନ; ଯେତେବେଳେ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ, ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର କଣିକାଗୁଡ଼ିକର ଶକ୍ତି ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନ୍ ଏବଂ ଲକ୍ଷ୍ୟସ୍ଥଳର ପୃଷ୍ଠ ପରମାଣୁ ଦ୍ୱାରା ସୃଷ୍ଟି ହୁଏ। ବିନିମୟ ଏବଂ ଗତି ବିନିମୟ ଝିଲ୍ଲୀ-ଆଧାର ବନ୍ଧନ ଶକ୍ତିକୁ ଉନ୍ନତ କରିପାରିବ।

3. ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଗଠନ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ନିକଟତର। ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂର ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ଆର୍ଗନ୍ ଆୟନ୍ ଦ୍ୱାରା ଲକ୍ଷ୍ୟରୁ ବାହାରକୁ ବାହାରିଯାଏ, ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଗଠନ ଲକ୍ଷ୍ୟ ସାମଗ୍ରୀର ବହୁତ ନିକଟତର ହୁଏ। ପରିଣାମସ୍ୱରୂପ "ଭଗ୍ନକରଣ" କିମ୍ବା "ବିଘଟନ" ଘଟଣା ବାଷ୍ପୀଭବନ ପ୍ଲେଟିଂ ତୁଳନାରେ ଅପେକ୍ଷାକୃତ ହାଲୁକା। ତଥାପି, ସାଧାରଣତଃ ଯେତେବେଳେ ଏକ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଫିଲ୍ମକୁ ବହୁତ କଠୋର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଆବଶ୍ୟକତା ସହିତ ଆବରଣ କରାଯାଏ, ଫିଲ୍ମର ଯୌଗିକ ଫିଲ୍ମ ଗଠନକୁ ଷ୍ଟୋଇକିଓମେଟ୍ରିକ୍ ଅନୁପାତ ପୂରଣ କରିବା ପାଇଁ ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରକ୍ରିୟା ସମୟରେ ଏକ ନିର୍ଦ୍ଦିଷ୍ଟ ପରିମାଣର ପ୍ରତିକ୍ରିୟାଶୀଳ ଗ୍ୟାସ ଯୋଡାଯିବା ଆବଶ୍ୟକ ଯାହା ଦ୍ୱାରା ଫିଲ୍ମର କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଆବଶ୍ୟକତା ସୁନିଶ୍ଚିତ ହୁଏ।

୪. ଆବରଣଟି ଭଲ ଆବରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ପ୍ରଦାନ କରେ। ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣର ଭାକ୍ୟୁମ୍ ଚାପ କମ୍। ଗ୍ୟାସ୍ ଅଣୁଗୁଡ଼ିକର ମୁକ୍ତ ପଥ ଛୋଟ, ଧକ୍କା ସମ୍ଭାବନା ଅଧିକ, ଏବଂ ବାଷ୍ପୀଭବନ ଆବରଣ ତୁଳନାରେ, ଫିଲ୍ମ କଣିକାଗୁଡ଼ିକର ବିକ୍ଷିପ୍ତ କ୍ଷମତା ଶକ୍ତିଶାଳୀ, ଆବରଣ କାର୍ଯ୍ୟଦକ୍ଷତା ଭଲ ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ଘନତା ସମାନ।

5. ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ ହେଉଛି ଏକ କ୍ଷେତ୍ର ପ୍ରକାରର ଆବରଣ ଉତ୍ସ। ପ୍ଲେନ ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଟାର୍ଗେଟ ଏବଂ ସିଲିଣ୍ଡ୍ରାକାର ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ଟାର୍ଗେଟ ଉଭୟର ଲମ୍ବ 300 ~ 3000 ମିମି ପର୍ଯ୍ୟନ୍ତ ପହଞ୍ଚିପାରେ। ଯଦିଓ ଉଭୟ ରେଖୀୟ ଆବରଣ ଉତ୍ସ, ୱର୍କପିସ୍ ର ନିରନ୍ତର ଗତି ସହିତ ଯୋଡ଼ି, ଏହାକୁ ଏକ ବଡ଼ ଅଂଶ ଉପରେ ଆବରଣ କରାଯାଇପାରିବ। ଯଦି ଏକ ଫିଲ୍ମ 3300 ମିମି ପ୍ରସ୍ଥ ସହିତ ଏକ କାଚ ପୃଷ୍ଠରେ ଆବରଣ କରାଯାଏ, ତେବେ ବିଭିନ୍ନ ରଙ୍ଗ ଏବଂ ପରିବହନ ସହିତ ଏକ ସମାନ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତର ମିଳିପାରିବ। ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ବଡ଼ କ୍ଷେତ୍ର ପତଳା ଫିଲ୍ମ ଜମା କରିବାରେ ବ୍ୟାପକ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହୋଇଛି।

6. ୱର୍କପିସରେ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ବ୍ୟବହାର କରନ୍ତୁ। ପ୍ରଥମେ, ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟାରେ। ଆଜିକାଲି, ମ୍ୟାଗ୍ନେଟ୍ରନ୍ ସ୍ପଟରିଂ ଆବରଣ ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ଧାତୁ ସବଷ୍ଟ୍ରେଟ୍‌ଗୁଡ଼ିକରେ ବହୁଳ ଭାବରେ ବ୍ୟବହୃତ ହେଉଛି, ଏବଂ ଫିଲ୍ମ ସ୍ତରର ଗୁଣବତ୍ତା ଉନ୍ନତ କରିବା ପାଇଁ ୱର୍କପିସରେ ନକାରାତ୍ମକ ବାୟାସ୍ ଭୋଲଟେଜ୍ ପ୍ରୟୋଗ କରିବା ବିଶେଷ କାର୍ଯ୍ୟକ୍ଷମ ଫିଲ୍ମ ଏବଂ ଉଚ୍ଚ-ସ୍ତରୀୟ ସାଜସଜ୍ଜା ଉତ୍ପାଦ ଆବରଣ ପାଇଁ ମୁଖ୍ୟଧାରାର ପ୍ରଯୁକ୍ତିବିଦ୍ୟା ପାଲଟିଛି।