E-Beam Verdamping

Elektronenbundelverdamping is een vorm van fysische dampdepositie. In tegenstelling tot traditionele verdampingsmethoden, maakt elektronenbundelverdamping gebruik van de coördinatie van elektromagnetische velden om nauwkeurig gebruik te maken van hoogenergetische elektronen om het doelmateriaal in de smeltkroes te bombarderen, te smelten en vervolgens op het substraat af te zetten. Elektronenbundelverdamping kan zeer zuivere en nauwkeurige films afzetten.

Bij elektronenbundelverdamping worden versnelde elektronen gebruikt om het coatingmateriaal te bombarderen. De kinetische energie van de elektronen wordt omgezet in warmte-energie om het coatingmateriaal te verwarmen en te verdampen en een film te vormen. Elektronenkanonnen worden onderverdeeld in directe, ring- en E-types. De kenmerken van elektronenbundelverdamping zijn dat het een extreem hoge energiedichtheid kan bereiken, tot 109 W/cm², en dat de verwarmingstemperatuur 3000-6000 °C kan bereiken. Het kan vuurvaste metalen of verbindingen verdampen; het verdampte materiaal wordt in een watergekoelde kroes geplaatst om verontreiniging van het kroesmateriaal te voorkomen. Elektronenbundelverdamping kan films met een hoge zuiverheidsgraad produceren. Tegelijkertijd kunnen meerdere kroezen in hetzelfde verdampingsapparaat worden geplaatst om gelijktijdige of afzonderlijke verdamping en afzetting van een verscheidenheid aan verschillende stoffen te bereiken. De meeste materialen kunnen worden verdampt door middel van elektronenbundelverdamping.

Verdamping met elektronenbundels kan materialen met een hoog smeltpunt verdampen. Het heeft een hogere thermische efficiëntie, een grotere bundeldichtheid en een snellere verdampingssnelheid dan verdamping met weerstandsverhitting. De geproduceerde film is zeer zuiver en van goede kwaliteit. De dikte kan nauwkeurig worden gecontroleerd. Het kan breed worden gebruikt voor de productie van diverse optische materiaalfilms, zoals films met een hoge zuiverheidsgraad en geleidend glas.

Elektronenbundelverdamping wordt vaak gebruikt om legerings- of oxidefilms van Al, CO, Ni en Fe, SiO2, ZrO2 en corrosiebestendige en hittebestendige oxidefilms te bereiden.

Qua functionaliteit heeft de elektronenbundelcoatingtechnologie de volgende kenmerken:

I) Coating met hoge precisie: Hiermee kan een nauwkeurige controle over de filmdikte en -samenstelling worden bereikt, waardoor films met specifieke eigenschappen kunnen worden vervaardigd.

2) Sterke aanpasbaarheid: De fysieke en chemische eigenschappen van de folie kunnen eenvoudig worden aangepast aan de behoeften van verschillende toepassingen.

3). Hoogwaardige film: De voorbereide film heeft een goede uniformiteit, dichtheid en stabiliteit.

4) Breed toepassingsbereik: Geschikt voor het coaten van diverse materialen, waaronder metalen, halfgeleiders, oxiden, etc.