E-Beam Verdamping

Elektronenbundelverdamping is een type fysieke dampdepositie. In tegenstelling tot traditionele verdampingsmethoden, gebruikt elektronenbundelverdamping de coördinatie van elektromagnetische velden om nauwkeurig het gebruik van elektronen met hoge energie te bereiken om het doelmateriaal in de smeltkroes te bombarderen, het te smelten en het vervolgens op het substraat af te zetten. Elektronenbundelverdamping kan films met een hoge zuiverheid en hoge precisie afzetten.

Elektronenbundelverdamping gebruikt versnelde elektronen om het coatingmateriaal te bombarderen. De kinetische energie van de elektronen wordt omgezet in warmte-energie om het coatingmateriaal te verwarmen en te verdampen en een film te vormen. Elektronenkanonnen worden onderverdeeld in directe, ring- en E-typen. De kenmerken van elektronenbundelverwarmingsverdamping zijn dat het een extreem hoge energiedichtheid kan bereiken, tot 109w/cm2, en de verwarmingstemperatuur kan 3000-6000℃ bereiken. Het kan vuurvaste metalen of verbindingen verdampen; het verdampte materiaal wordt in een watergekoelde kroes geplaatst om verontreiniging van het kroesmateriaal te voorkomen. Elektronenbundelverdampingsdepositie kan films met een hoge zuiverheid bereiden. Tegelijkertijd kunnen meerdere kroezen in hetzelfde verdampingsdepositieapparaat worden geplaatst om gelijktijdige of afzonderlijke verdamping en depositie van een verscheidenheid aan verschillende stoffen te bereiken. De meeste materialen kunnen worden verdampt door elektronenbundelverdamping.

Elektronenbundelverdamping kan materialen met een hoog smeltpunt verdampen. Het heeft een hogere thermische efficiëntie, grotere bundeldichtheid en snellere verdampingssnelheid dan algemene weerstandsverdamping. De geproduceerde film heeft een hoge zuiverheid en goede kwaliteit. De dikte kan nauwkeurig worden gecontroleerd. Het kan op grote schaal worden gebruikt om verschillende optische materiaalfilms te bereiden, zoals films met een hoge zuiverheid en geleidend glas.

Elektronenbundelverdamping wordt vaak gebruikt om legerings- of oxidefilms van Al, CO, Ni en Fe, SiO2, ZrO2-films en corrosiebestendige en hittebestendige oxidefilms te bereiden.

Qua functionaliteit heeft de elektronenbundelcoatingtechnologie de volgende kenmerken:

I) Coating met hoge precisie: Hiermee kan een nauwkeurige controle over de filmdikte en -samenstelling worden bereikt, waardoor films met specifieke eigenschappen kunnen worden vervaardigd.

2) Sterke aanpasbaarheid: De fysieke en chemische eigenschappen van de folie kunnen eenvoudig worden aangepast aan de behoeften van verschillende toepassingen.

3). Hoogwaardige film: De voorbereide film heeft een goede uniformiteit, dichtheid en stabiliteit.

4) Breed toepassingsgebied: het is geschikt voor het coaten van diverse materialen, waaronder metalen, halfgeleiders, oxiden, enz.