Эсэргүүцэх ууршилт
1>. Вакуум ууршилт
Вакуум ууршилтыг ууршилт гэж нэрлэдэг бөгөөд энэ нь бүрэх материалыг (эсвэл хальсан материалыг) ууршуулж, вакуум нөхцөлд тодорхой халаах, ууршуулах аргаар ууршуулах процессын аргыг хэлдэг бөгөөд тоосонцор нь субстратын гадаргуу руу нисч, хальс үүсгэдэг. Ууршуулах нь хальс үүсгэх энгийн арга, нимгэн хальс нь өндөр цэвэр, нягт, өвөрмөц хальс бүтэц, гүйцэтгэлтэй зэрэг давуу талтай, хамгийн эртний бөгөөд өргөн хэрэглэгдэж байсан уур хуримтлуулах технологи юм.
2>. Үйл ажиллагааны зарчим
Ууршилтын физик процесс нь: хуримтлагдсан материалыг ууршуулах буюу хийн тоосонцор болгох → хийн тоосонцорыг ууршилтын эх үүсвэрээс субстратын гадаргуу руу хурдан зөөвөрлөх → хийн хэсгүүд нь субстратын гадаргуу дээр наалдаж бөөм болж, хатуу хальс болж ургаж → нимгэн хальсан атомыг нөхөн сэргээх эсвэл химийн бодис үүсгэх.
Субстратыг вакуум камерт байрлуулж эсэргүүцэл, электрон туяа, лазер болон бусад аргаар халааж, хальс материалыг ууршуулж эсвэл сублиматжуулж, тодорхой энергитэй (0.1 ~ 0.3eV) бөөмс (атом, молекул эсвэл кластер) болгон ууршуулна. Хийн хэсгүүд нь үндсэндээ мөргөлдөхгүй шугаман хөдөлгөөнөөр субстрат руу зөөгдөж, субстратын гадаргуу дээр хүрч буй хэсгүүдийн зарим нь ойж, нөгөө хэсэг нь субстрат дээр шингэж, гадаргуу дээр тархдаг бөгөөд үүний үр дүнд хуримтлагдсан атомуудын хооронд хоёр хэмжээст мөргөлдөөн үүсч, бөөгнөрөл үүсэх ба зарим хэсэг нь гадаргуу дээр богино хугацаанд үлдэж болно. Бөөмийн бөөгнөрөл нь сарнисан бөөмстэй байнга мөргөлдөж, шингээх эсвэл дан бөөмсийг ялгаруулдаг. Энэ үйл явц дахин давтагдах ба цугларсан бөөмийн тоо тодорхой эгзэгтэй утгаас хэтэрсэн үед тогтвортой цөм болж, улмаар бөөмсийг шингээж, сарниулсаар аажмаар ургаж, эцэст нь зэргэлдээх тогтвортой цөмүүдийн хүрэлцэх, нэгдэх замаар тасралтгүй нимгэн хальс үүсгэдэг.
3>. Гол параметрүүд
Ханалтын уурын даралт (PV): Вакуум камер дахь ууршсан материалын уур нь тодорхой температурт хатуу эсвэл шингэнтэй тэнцвэрт байдалд байх даралт юм. Уурын ханасан даралт ба температурын хоорондын хамаарлын муруй нь хальс үйлдвэрлэх технологийн хувьд маш чухал бөгөөд энэ нь ууршилтын материалыг оновчтой сонгох, ууршилтын нөхцлийг тодорхойлоход тусалдаг.
