പ്രതിരോധശേഷിയുള്ള ബാഷ്പീകരണം

വാക്വം ബാഷ്പീകരണം, ബാഷ്പീകരണം എന്നറിയപ്പെടുന്നത്, കോട്ടിംഗ് മെറ്റീരിയൽ (അല്ലെങ്കിൽ ഫിലിം മെറ്റീരിയൽ) ബാഷ്പീകരിക്കുകയും വാക്വം സാഹചര്യങ്ങളിൽ ഒരു പ്രത്യേക ചൂടാക്കൽ, ബാഷ്പീകരണ രീതി ഉപയോഗിച്ച് ബാഷ്പീകരിക്കുകയും ചെയ്യുന്ന പ്രക്രിയ രീതിയെ സൂചിപ്പിക്കുന്നു, കൂടാതെ കണികകൾ അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലേക്ക് പറന്ന് ഒരു ഫിലിം രൂപപ്പെടുത്തുന്നു. ബാഷ്പീകരണം എന്നത് മുമ്പത്തേതും ഏറ്റവും വ്യാപകമായി ഉപയോഗിക്കുന്നതുമായ ഒരു നീരാവി നിക്ഷേപ സാങ്കേതികവിദ്യയാണ്, ഇതിന് ലളിതമായ ഫിലിം രൂപീകരണ രീതി, ഉയർന്ന പരിശുദ്ധിയും നേർത്ത ഫിലിമിന്റെ ഒതുക്കവും, അതുല്യമായ ഫിലിം ഘടനയും പ്രകടനവും എന്നിവയുടെ ഗുണങ്ങളുണ്ട്.

ബാഷ്പീകരണത്തിന്റെ ഭൗതിക പ്രക്രിയയിൽ ഇവ ഉൾപ്പെടുന്നു: നിക്ഷേപിച്ച പദാർത്ഥത്തെ വാതക കണങ്ങളാക്കി ബാഷ്പീകരിക്കൽ അല്ലെങ്കിൽ സപ്ലിമേഷൻ → ബാഷ്പീകരണ സ്രോതസ്സിൽ നിന്ന് അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലേക്ക് വാതക കണങ്ങളുടെ ദ്രുത ഗതാഗതം → വാതക കണികകൾ അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിൽ ന്യൂക്ലിയേറ്റ് ചെയ്യുന്നതിനും, ഒരു സോളിഡ് ഫിലിമായി വളരുന്നതിനും → നേർത്ത ഫിലിം ആറ്റങ്ങളുടെ പുനർനിർമ്മാണത്തിനോ രാസ ബോണ്ടിംഗ് ഉണ്ടാക്കുന്നതിനോ ബന്ധിപ്പിക്കുന്നു.

ഒരു വാക്വം ചേമ്പറിൽ സ്ഥാപിച്ചിരിക്കുന്ന ഈ അടിവസ്ത്രം പ്രതിരോധം, ഇലക്ട്രോൺ ബീം, ലേസർ, മറ്റ് രീതികൾ എന്നിവ ഉപയോഗിച്ച് ചൂടാക്കി ഫിലിം മെറ്റീരിയലിനെ ബാഷ്പീകരിക്കുകയോ ഉൽപ്പാദനം ചെയ്യുകയോ ചെയ്ത് ഒരു നിശ്ചിത ഊർജ്ജം (0.1~0.3eV) ഉപയോഗിച്ച് കണികകളായി (ആറ്റങ്ങൾ, തന്മാത്രകൾ അല്ലെങ്കിൽ ക്ലസ്റ്ററുകൾ) ബാഷ്പീകരിക്കുന്നു. വാതക കണങ്ങളെ അടിസ്ഥാനപരമായി കൂട്ടിയിടി രഹിതമായ ഒരു രേഖീയ ചലനത്തിലൂടെ അടിവസ്ത്രത്തിലേക്ക് കൊണ്ടുപോകുന്നു, കൂടാതെ അടിവസ്ത്രത്തിന്റെ ഉപരിതലത്തിലെത്തുന്ന ചില കണികകൾ പ്രതിഫലിക്കുന്നു, മറ്റേ ഭാഗം അടിവസ്ത്രത്തിൽ ആഗിരണം ചെയ്യപ്പെടുകയും ഉപരിതലത്തിൽ വ്യാപിക്കുകയും ചെയ്യുന്നു, അതിന്റെ ഫലമായി നിക്ഷേപിച്ച ആറ്റങ്ങൾക്കിടയിൽ ദ്വിമാന കൂട്ടിയിടികൾ ഉണ്ടാകുകയും ക്ലസ്റ്ററുകൾ രൂപപ്പെടുകയും ചെയ്യുന്നു. ചിലത് ഉപരിതലത്തിൽ കുറച്ചുനേരം തങ്ങിനിൽക്കുകയും പിന്നീട് ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെടുകയും ചെയ്തേക്കാം. കണങ്ങളുടെ കൂട്ടങ്ങൾ വ്യാപിക്കുന്ന കണങ്ങളുമായി നിരന്തരം കൂട്ടിയിടിക്കുന്നു, ഒന്നുകിൽ ഒറ്റ കണികകളെ ആഗിരണം ചെയ്യുകയോ പുറത്തുവിടുകയോ ചെയ്യുന്നു. ഈ പ്രക്രിയ ആവർത്തിച്ച് ആവർത്തിക്കുന്നു, ശേഖരിക്കപ്പെടുന്ന കണങ്ങളുടെ എണ്ണം ഒരു നിശ്ചിത നിർണായക മൂല്യം കവിയുമ്പോൾ, അത് ഒരു സ്ഥിരതയുള്ള ന്യൂക്ലിയസായി മാറുന്നു, തുടർന്ന് കണികകളെ ആഗിരണം ചെയ്ത് വ്യാപിപ്പിക്കുന്നത് തുടരുകയും ക്രമേണ വളരുകയും ചെയ്യുന്നു, ഒടുവിൽ അടുത്തുള്ള സ്ഥിരതയുള്ള ന്യൂക്ലിയസുകളുടെ സമ്പർക്കത്തിലൂടെയും ലയനത്തിലൂടെയും തുടർച്ചയായ ഒരു നേർത്ത ഫിലിം രൂപപ്പെടുന്നു.

സാച്ചുറേഷൻ നീരാവി മർദ്ദം (PV): ഒരു വാക്വം ചേമ്പറിലെ ബാഷ്പീകരിക്കപ്പെട്ട പദാർത്ഥത്തിന്റെ നീരാവി ഒരു നിശ്ചിത താപനിലയിൽ ഒരു ഖര അല്ലെങ്കിൽ ദ്രാവകവുമായി സന്തുലിതാവസ്ഥയിലാകുന്ന മർദ്ദമാണ്. സാച്ചുറേഷൻ നീരാവി മർദ്ദവും താപനിലയും തമ്മിലുള്ള ബന്ധ വക്രം ഫിലിം നിർമ്മാണ സാങ്കേതികവിദ്യയ്ക്ക് വളരെ പ്രധാനമാണ്, ഇത് ബാഷ്പീകരണ വസ്തുക്കൾ യുക്തിസഹമായി തിരഞ്ഞെടുക്കാനും ബാഷ്പീകരണ സാഹചര്യങ്ങൾ നിർണ്ണയിക്കാനും നമ്മെ സഹായിക്കും.