Sputtering.PVD
1. He pai ake te whakakikorua a Magnetron sputtering i te paninga katote arc, a he iti ake nga matūriki maturuturu.
2. He pai ake te kaha herenga kiriata-tihi i tera o te paninga whakaetonga korehau. I roto i te hangarau whakaetonga whakaetonga korehau, ko te kaha o nga ngota i roto i te paparanga kiriata ko te wera wera anake e mauria ana i te wa whakaetonga, he rite ki te 00.1~0.2eV; i roto i te hangarau whakakikorua magnetron sputtering, ko te kaha o nga matūriki paparanga kiriata ka hangaia e nga katote argon me nga ngota mata o te whaainga. Ka taea e te whakawhitinga me te whakawhitinga tere te whakapai ake i te kaha here-membrane.
3. Ko te hanganga o te paparanga kiriata e tata ana ki te rauemi kua tohua. Ko te paparanga kiriata o te magnetron sputtering ka pupuhihia mai i te whaainga e nga katote argon, a, ko te hanganga o te paparanga kiriata e tino tata ana ki tera o te mea kua tohua. Ko te huanga o te "hautanga" me te "whakaparapara" he maamaa noa ki te whakakikoruatia ki te whakakikoruatanga whakaetonga. Heoi, i te nuinga o te wa ka whakakikoruatia he kiriata mahi me nga whakaritenga mahi tino kaha, me tapiri etahi hau reactive i te wa o te mahi pupuhi kia tutuki ai te hanganga o te kiriata o te kiriata ki te ōwehenga stoichiometric hei whakarite i nga whakaritenga o te kiriata.
4. Ko te paninga he pai te mahi whakakikorua. He iti te pehanga korehau o te paninga sputtering. He poto te ara noa o nga ngota hau, he nui te tukinga, ka whakatauritea ki te paninga whakaetonga, he kaha te marara o nga matūriki kiriata, he pai te mahi whakakikorua, he rite te matotoru o te kiriata.
5. Ko te whainga mokowhiti he puna whakakikorua momo rohe. Ko te roa o te rererangi rererangi Magnetron sputtering ūnga me te taumata magnetron porotakaroa taea tae 300~3000 mm. Ahakoa he puna whakakikorua nga mea e rua, ka honoa ki te neke haere tonu o te mea mahi, ka taea te whakakikorua ki runga i nga waahanga nui. Mena ka pania he kiriata ki runga i te mata karaihe me te whanui o te 3300mm, ka taea te whiwhi i tetahi paparanga kiriata rite me nga tae rereke me te whakawhiti. He nui te whakamahi i te pupuhi Magnetron ki te whakatakoto i nga kiriata kikokore o te waahi nui.
6. Whakamahi ngaohiko rītaha ki te mea mahi. I te tuatahi, i roto i te Magnetron sputtering hangarau. I enei wa, kua whakamahia te hangarau whakakikorua magnetron ki runga i nga taputapu whakarewa, me te whakamahi i nga ngaohiko rītaha kino ki te papamahi hei whakapai ake i te kounga o te paparanga kiriata kua waiho hei hangarau auraki mo te whakakikorua i nga kiriata mahi motuhake me nga hua whakapaipai teitei.
