Sputtering.PVD
1. Magnetron sputtering coating dia tsara lavitra noho ny arc ion coating, ary tsy dia misy poti-potaka kely kokoa.
2. Ny herin'ny fatorana sarimihetsika-substrate dia tsara kokoa noho ny fametahana vacuum evaporation coating. Ao amin'ny teknolojia fanosotra vacuum evaporation, ny angovo atôma ao amin'ny sarimihetsika sosona dia ny angovo hafanana entina mandritra ny etona, izay mitovy amin'ny 00.1 ~ 0.2eV; raha ao amin'ny magnetron sputtering coating teknôlôjia, ny angovo ny film sosona poti dia vokatry ny argon ions sy ny atoma ambonin'ny lasibatra. Ny fifanakalozam-bola sy ny fifanakalozam-potoana dia afaka manatsara ny hery mamatotra membrane-base.
3. Ny firafitry ny sarimihetsika sosona dia akaiky ny fitaovana kendrena. Ny sarimihetsika sosona ny magnetron sputtering dia sputtered avy amin'ny kendrena amin'ny argon ion, ary ny firafitry ny sarimihetsika sosona dia tena akaiky ny an'ny kendrena fitaovana. Ny trangan-javatra "fractionation" na "decomposition" aterak'izany dia somary maivana raha oharina amin'ny fametahana etona. Na izany aza, amin'ny ankapobeny rehefa manarona sarimihetsika miasa miaraka amin'ny fepetra henjana be dia be, dia tsy maintsy ampiana entona mihetsiketsika sasany mandritra ny fizotran'ny sputtering mba hahatonga ny firafitry ny horonan-tsarimihetsika amin'ny sarimihetsika mifanaraka amin'ny tahan'ny stoichiometric mba hiantohana ny fepetra takian'ny sarimihetsika.
4. Ny coating dia manana fampisehoana coating tsara. Ny fanerena banga ny sputtering coating dia ambany. Ny lalana malalaka amin'ny molekiola entona dia fohy, ny mety hisian'ny fifandonana dia avo, ary raha oharina amin'ny evaporation coating, ny fahaiza-manaparitaka ny sombin-tsarimihetsika dia matanjaka, ny fampisehoana ny coating dia tsara, ary ny hatevin'ny sarimihetsika dia mitovy.
5. Sputtering tanjona dia faritra karazana coating loharano. Ny halavan'ny fiaramanidina Magnetron sputtering kendrena sy ny cylindrical magnetron kendrena dia mety hahatratra 300 ~ 3000 mm. Na dia loharanon'ny coating linear aza izy roa, miaraka amin'ny hetsika mitohy amin'ny workpiece, dia azo rakofana amin'ny faritra midadasika. Raha misy sarimihetsika mipetaka eo amin'ny vera misy sakan'ny 3300mm, dia azo atao ny mahazo sarimihetsika fanamiana misy loko sy fifindran'ny hafanana. Ny sputtering Magnetron dia nampiasaina betsaka tamin'ny fametrahana sarimihetsika manify faritra lehibe.
6. Mampiasà voltase mitongilana amin'ny workpiece. Tamin'ny voalohany, ao amin'ny Magnetron sputtering teknolojia. Amin'izao fotoana izao, magnetron sputtering coating teknolojia no be mpampiasa amin'ny vy substrates, ary ny fampiharana ny mitongilana malefaka malefaka amin'ny workpiece mba hanatsarana ny kalitaon'ny sarimihetsika sosona lasa ny mahazatra teknolojia ho an'ny coating manokana miasa sarimihetsika sy avo-end vokatra haingon-trano.
