E-Spindulio išgarinimas

Elektronų pluošto išgarinimas yra fizinio nusodinimo garais tipas. Skirtingai nuo tradicinių garinimo metodų, elektronų pluošto garinimas naudoja elektromagnetinių laukų koordinavimą, kad būtų tiksliai panaudoti didelės energijos elektronai, skirti bombarduoti tikslinę medžiagą tiglyje, išlydyti ją ir nusodinti ant pagrindo. Elektronų pluošto išgarinimas gali nusodinti didelio grynumo ir didelio tikslumo plėveles.

Elektronų pluošto garinimas naudoja pagreitintus elektronus, kad bombarduotų dangos medžiagą. Elektronų kinetinė energija paverčiama šilumos energija, kad kaitintų ir išgaruotų dangos medžiagą ir susidarytų plėvelė. Elektroniniai ginklai skirstomi į tiesioginius, žiedinius ir E tipus. Elektronų pluošto šildymo garavimo charakteristikos yra tokios, kad jis gali gauti ypač didelį energijos tankį, iki 109w/cm2, o šildymo temperatūra gali siekti 3000-6000 ℃. Jis gali išgarinti ugniai atsparius metalus ar junginius; išgaravusi medžiaga dedama į vandeniu aušinamą tiglį, kad būtų išvengta tiglio medžiagos užteršimo. Elektronų pluošto garinimo nusodinimas gali paruošti didelio grynumo plėveles. Tuo pačiu metu keli tigliai gali būti dedami į tą patį garinimo nusodinimo įrenginį, kad būtų galima vienu metu arba atskirai išgarinti ir nusodinti įvairias skirtingas medžiagas. Daugumą medžiagų galima išgarinti elektronų pluošto išgarinimo būdu.

Elektronų pluošto išgarinimas gali išgarinti aukštos lydymosi temperatūros medžiagas. Jis turi didesnį šiluminį efektyvumą, didesnį pluošto tankį ir greitesnį garavimo greitį nei bendras atsparumo šildymo garavimas. Pagaminta plėvelė yra aukšto grynumo ir geros kokybės. Storis gali būti tiksliai kontroliuojamas. Jis gali būti plačiai naudojamas ruošiant įvairias optinių medžiagų plėveles, tokias kaip didelio grynumo plėvelės ir laidus stiklas.

Elektronų pluošto garinimas dažnai naudojamas ruošiant lydinio ar oksido plėveles iš Al, CO, Ni ir Fe, SiO2, ZrO2 plėveles bei korozijai ir aukštai temperatūrai atsparias oksidų plėveles.

Kalbant apie funkciją, elektronų pluošto dengimo technologija turi šias charakteristikas:

I) Didelio tikslumo danga: galima tiksliai kontroliuoti plėvelės storį ir sudėtį, taip paruošiant plėveles su specifinėmis savybėmis.

2) Stiprus reguliuojamumas: fizines ir chemines plėvelės savybes galima lengvai reguliuoti, kad atitiktų skirtingų programų poreikius.

3). Aukštos kokybės plėvelė: Paruošta plėvelė turi gerą vienodumą, tankį ir stabilumą.

4) Platus pritaikymo spektras: tinka įvairių medžiagų, įskaitant metalus, puslaidininkius, oksidus ir kt., padengimui.