Resistive Evaporation
1>. ການລະເຫີຍສູນຍາກາດ
ການລະເຫີຍສູນຍາກາດ, ເອີ້ນວ່າການລະເຫີຍ, ຫມາຍເຖິງຂະບວນການຂອງການລະເຫີຍຂອງວັດສະດຸເຄືອບ (ຫຼືວັດສະດຸຟິມ) ແລະ vaporizing ມັນໂດຍວິທີການໃຫ້ຄວາມຮ້ອນແລະການລະເຫີຍທີ່ແນ່ນອນພາຍໃຕ້ເງື່ອນໄຂສູນຍາກາດ, ແລະອະນຸພາກບິນໄປຫາຫນ້າດິນຂອງ substrate ເພື່ອສ້າງເປັນຮູບເງົາ. ການລະເຫີຍເປັນເທກໂນໂລຍີການລະບາຍອາຍຂອງອາຍພິດກ່ອນຫນ້າແລະຖືກນໍາໃຊ້ຢ່າງກວ້າງຂວາງທີ່ສຸດ, ເຊິ່ງມີຂໍ້ດີຂອງວິທີການສ້າງຮູບເງົາແບບງ່າຍດາຍ, ຄວາມບໍລິສຸດສູງແລະຄວາມຫນາແຫນ້ນຂອງຮູບເງົາບາງໆ, ແລະໂຄງສ້າງແລະປະສິດທິພາບຂອງຮູບເງົາທີ່ເປັນເອກະລັກ.
2 >. ຫຼັກການເຮັດວຽກ
ຂະບວນການທາງກາຍະພາບຂອງການລະເຫີຍປະກອບມີ: ການລະເຫີຍຫຼື sublimation ຂອງວັດສະດຸເງິນຝາກເຂົ້າໄປໃນອະນຸພາກທາດອາຍແກັສ → ການຂົນສົ່ງຢ່າງໄວວາຂອງອະນຸພາກທາດອາຍແກັສຈາກແຫຼ່ງການລະເຫີຍໄປສູ່ຫນ້າດິນຂອງຊັ້ນຍ່ອຍ → ອະນຸພາກທາດອາຍແກັສຕິດກັບຫນ້າດິນຂອງ substrate ກັບ nucleate, ຈະເລີນເຕີບໂຕເປັນຮູບເງົາແຂງ → reconstitution ຂອງອາຕອມຂອງຟິມເຄມີບາງໆ.
substrate ແມ່ນຖືກຈັດໃສ່ຢູ່ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດແລະໃຫ້ຄວາມຮ້ອນໂດຍການຕໍ່ຕ້ານ, beam ເອເລັກໂຕຣນິກ, laser ແລະວິທີການອື່ນໆທີ່ຈະ evaporate ຫຼື sublimate ວັດສະດຸຮູບເງົາແລະ vaporize ມັນເຂົ້າໄປໃນອະນຸພາກ (ປະລໍາມະນູ, ໂມເລກຸນຫຼື clusters) ທີ່ມີພະລັງງານສະເພາະໃດຫນຶ່ງ (0.1 ~ 0.3eV). ອະນຸພາກທາດອາຍແກັສຖືກເຄື່ອນຍ້າຍໄປສູ່ຊັ້ນໃຕ້ດິນໃນການເຄື່ອນໄຫວເສັ້ນຊື່ໂດຍພື້ນຖານແລ້ວບໍ່ມີການປະທະກັນ, ແລະບາງອະນຸພາກທີ່ເຂົ້າເຖິງພື້ນຜິວຂອງທາດຍ່ອຍໄດ້ຖືກສະທ້ອນ, ແລະອີກສ່ວນຫນຶ່ງຖືກດູດຊຶມຢູ່ເທິງຊັ້ນໃຕ້ດິນແລະແຜ່ລາມໄປເທິງຫນ້າດິນ, ເຮັດໃຫ້ເກີດການປະທະກັນສອງມິຕິລະຫວ່າງປະລໍາມະນູທີ່ຝາກໄວ້ເພື່ອສ້າງເປັນກຸ່ມກ້ອນໃນເວລາສັ້ນໆ. ກຸ່ມຂອງອະນຸພາກກໍາລັງປະທະກັນຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງກັບອະນຸພາກທີ່ແຜ່ກະຈາຍ, ບໍ່ວ່າຈະເປັນການດູດຊຶມຫຼືການປ່ອຍອະນຸພາກດຽວ. ຂະບວນການນີ້ແມ່ນຊ້ໍາກັນເລື້ອຍໆ, ແລະເມື່ອຈໍານວນອະນຸພາກທີ່ລວບລວມເກີນມູນຄ່າທີ່ສໍາຄັນ, ມັນຈະກາຍເປັນແກນທີ່ຫມັ້ນຄົງ, ແລະຫຼັງຈາກນັ້ນສືບຕໍ່ adsorb ແລະກະຈາຍອະນຸພາກແລະຄ່ອຍໆຂະຫຍາຍຕົວ, ແລະສຸດທ້າຍກໍ່ເປັນຮູບເງົາບາງໆຢ່າງຕໍ່ເນື່ອງໂດຍຜ່ານການຕິດຕໍ່ແລະການລວມຕົວຂອງ nuclei ຄົງທີ່ທີ່ຢູ່ຕິດກັນ.
3>. ຕົວກໍານົດການທີ່ສໍາຄັນ
ຄວາມກົດດັນ vapor ການອີ່ມຕົວ (PV): ຄວາມກົດດັນທີ່ vapor ຂອງອຸປະກອນການ evaporated ໃນຫ້ອງສູນຍາກາດຢູ່ໃນຄວາມສົມດຸນກັບຂອງແຂງຫຼືຂອງແຫຼວໃນອຸນຫະພູມສະເພາະໃດຫນຶ່ງ. ເສັ້ນໂຄ້ງຄວາມສໍາພັນລະຫວ່າງຄວາມກົດດັນ vapor ການອີ່ມຕົວແລະອຸນຫະພູມແມ່ນມີຄວາມສໍາຄັນຫຼາຍສໍາລັບເຕັກໂນໂລຊີ fabrication ຮູບເງົາ, ເຊິ່ງສາມາດຊ່ວຍໃຫ້ພວກເຮົາເລືອກອຸປະກອນການລະເຫີຍຢ່າງສົມເຫດສົມຜົນແລະກໍານົດເງື່ອນໄຂການລະເຫີຍ.
