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음극 아크 론

텍선 이온 플레이팅의 특성 및 응용

다중 아크 이온 플레이팅은 아크 방전 방식을 이용하여 고체 음극 타겟 물질에 금속을 직접 증착하는 방법입니다. 증착된 물질은 음극 아크의 밝은 지점에서 방출되는 음극 물질의 이온으로, 기판 표면에 박막을 증착합니다.
다중 아크 이온 플레이팅의 장점
(1) 용융 풀이 필요 없이 음극에서 직접 플라즈마를 생성합니다. 음극 타겟은 작업물의 형상에 따라 원하는 방향으로 배치할 수 있어 고정 장치가 크게 간소화됩니다.
(2) 입사입자 에너지가 높고, 필름의 밀도가 높고, 강도와 내구성이 좋으며, 접착강도가 좋다.
(3) 이온화율이 높아 일반적으로 60%~80%에 이른다.
(4) 적용 측면에서 볼 때 가장 큰 장점은 증발 속도가 빠르다는 점이다.

필름 종류

필름 소재

기판

필름 특성 및 응용 분야

금속 필름

일체 포함아연

백금

~ 안에

가지고 있다, ~와 함께일체 포함

~에

~에안에깃 달기

~에~에일체 포함백금

강철, 연강

티타늄 합금, 고탄소강, 연강

티타늄 합금

단단한 유리

플라스틱

니켈, 인코넬

강철, 스테인리스 강철

규소

내마모성(기계부품)

부식 방지(항공기, 선박, 자동차)

항산화, 피로회복

내마모성

반사율 증가, 장식성

매끄러운

내열성(배기관, 자동차, 항공기 엔진)

전기 접점, 리드

합금

AI 브론즈

Co-Cr-Al-Y

스테인리스 스틸

중탄소강 및 고탄소강

니켈 합금, 고온 합금

플라스틱

윤활(고속 회전 부품)

항산화

장식하다

비금속

기음

티탄

실리콘, 철, 알루미늄, 유리

내마모성

부식 방지

화합물

화학 화합물 TiN

아인

크르노

SI3N4

안면 경련

다양한 강철

을 위한

일체 포함

을 위한

을 위한

부식 방지, 마모 방지(기계적 잡업, 도구)

항산화

내마모성

항산화

내마모성(초경도 공구)

관련 기계