ការហួតដែលធន់ទ្រាំ
១>។ ការហួតដោយសុញ្ញកាស
ការរំហួតដោយសុញ្ញកាស ហៅថា ការហួត សំដៅលើវិធីសាស្រ្តដំណើរការហួតសម្ភារៈថ្នាំកូត (ឬសម្ភារៈខ្សែភាពយន្ត) ហើយបំភាយវាដោយវិធីកំដៅ និងហួតជាក់លាក់មួយនៅក្រោមលក្ខខណ្ឌខ្វះចន្លោះ ហើយភាគល្អិតហោះទៅលើផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បីបង្កើតជាខ្សែភាពយន្ត។ ការរំហួតគឺជាបច្ចេកវិទ្យាបំភាយចំហាយមុន និងប្រើប្រាស់យ៉ាងទូលំទូលាយបំផុត ដែលមានគុណសម្បត្តិនៃវិធីសាស្ត្របង្កើតខ្សែភាពយន្តសាមញ្ញ ភាពបរិសុទ្ធខ្ពស់ និងការបង្រួមនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង និងរចនាសម្ព័ន្ធខ្សែភាពយន្ត និងការសម្តែងតែមួយគត់។
២>។ គោលការណ៍ការងារ
ដំណើរការរាងកាយនៃការហួតរួមមានៈ ការហួត ឬការរំហួតនៃវត្ថុដែលបានដាក់ចូលទៅក្នុងភាគល្អិតឧស្ម័ន → ការដឹកជញ្ជូនយ៉ាងលឿននៃភាគល្អិតឧស្ម័នពីប្រភពរំហួតទៅកាន់ផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោម → ភាគល្អិតឧស្ម័នភ្ជាប់ទៅនឹងផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមដើម្បី nucleate លូតលាស់ទៅជាខ្សែភាពយន្តរឹង → ការបង្កើតឡើងវិញនូវអាតូមនៃខ្សែភាពយន្តស្តើង ឬផលិតឡើងវិញនូវចំណងគីមី។
ស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានដាក់ក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះ ហើយត្រូវបានកំដៅដោយភាពធន់ ធ្នឹមអេឡិចត្រុង ឡាស៊ែរ និងវិធីសាស្រ្តផ្សេងទៀតដើម្បីហួត ឬ sublimate សម្ភារៈខ្សែភាពយន្ត ហើយបំភាយវាទៅជាភាគល្អិត (អាតូម ម៉ូលេគុល ឬចង្កោម) ជាមួយនឹងថាមពលជាក់លាក់មួយ (0.1 ~ 0.3eV) ។ ភាគល្អិតឧស្ម័នត្រូវបានបញ្ជូនទៅស្រទាប់ខាងក្រោមក្នុងចលនាលីនេអ៊ែរ ដែលជាមូលដ្ឋានមិនប៉ះទង្គិច ហើយភាគល្អិតមួយចំនួនដែលទៅដល់ផ្ទៃនៃស្រទាប់ខាងក្រោមត្រូវបានឆ្លុះបញ្ចាំង ហើយផ្នែកផ្សេងទៀតត្រូវបានស្រូបយកនៅលើស្រទាប់ខាងក្រោម ហើយរាលដាលលើផ្ទៃ ដែលបណ្តាលឱ្យមានការប៉ះទង្គិចគ្នាពីរវិមាត្ររវាងអាតូមដែលបានដាក់ទុក ដើម្បីបង្កើតជាចង្កោមលើផ្ទៃរយៈពេលខ្លី។ ចង្កោមនៃភាគល្អិតកំពុងប៉ះទង្គិចគ្នាឥតឈប់ឈរជាមួយភាគល្អិតដែលសាយភាយ ទាំង adsorbing ឬ emitting ភាគល្អិតតែមួយ។ ដំណើរការនេះត្រូវបានធ្វើម្តងទៀតម្តងហើយម្តងទៀត ហើយនៅពេលដែលចំនួននៃភាគល្អិតប្រមូលផ្តុំលើសពីតម្លៃសំខាន់ជាក់លាក់មួយ វាក្លាយជាស្នូលដែលមានស្ថេរភាព ហើយបន្ទាប់មកបន្តស្រូបយក និងសាយភាយភាគល្អិត ហើយលូតលាស់បន្តិចម្តងៗ ហើយទីបំផុតបង្កើតជាខ្សែភាពយន្តស្តើងជាបន្តបន្ទាប់តាមរយៈទំនាក់ទំនង និងការរួមបញ្ចូលគ្នានៃស្នូលថេរដែលនៅជាប់គ្នា។
៣>។ ប៉ារ៉ាម៉ែត្រសំខាន់ៗ
សម្ពាធចំហាយតិត្ថិភាព (PV): សម្ពាធដែលចំហាយនៃវត្ថុហួតនៅក្នុងបន្ទប់ខ្វះចន្លោះស្ថិតនៅក្នុងលំនឹងជាមួយនឹងវត្ថុរឹង ឬរាវនៅសីតុណ្ហភាពជាក់លាក់មួយ។ ខ្សែកោងទំនាក់ទំនងរវាងសម្ពាធចំហាយតិត្ថិភាព និងសីតុណ្ហភាពមានសារៈសំខាន់ខ្លាំងសម្រាប់បច្ចេកវិទ្យាផលិតខ្សែភាពយន្ត ដែលអាចជួយយើងក្នុងការជ្រើសរើសសម្ភារៈរំហួតដោយសមហេតុផល និងកំណត់លក្ខខណ្ឌនៃការហួត។
