科学研究、実験室用コーティング機

機械の簡単な説明

研究機関、企業研究所、その他の研究開発組織のニーズにお応えするため、カスタマイズ可能な小型真空コーティング装置をご提供しています。マグネトロンスパッタリングコーター、アークイオンコーター、蒸着コーター、PECVD（化学気相成長）装置、ALD（原子層堆積）装置など、多岐にわたる装置を取り揃えております。また、研究機関や企業研究所の多様なニーズにお応えする多機能複合コーティング装置の設計も承っております。

機械の簡単な説明

。ベルジャー型、ボックス型、連続型、ローリング型などのさまざまな構造にすることができます。マグネトロンスパッタリングカソード、アーク源、Eガン蒸発源、レーザーコーティング源、PECVD電極などのコーティングシステムを装備しています。
。オプションの補助コーティングシステムには、ユーザーの要求に応じた加熱およびベーキング、パルスバイアス、イオンソース、イオン衝撃、RF またはマイクロ波放電装置が含まれます。