プラズマ洗浄
プラズマは、固体、液体、気体と同様に物質の状態であり、第4の物質状態とも呼ばれます。ガスに十分なエネルギーを与えてイオン化すると、プラズマ状態になります。プラズマの「活性」成分には、イオン、電子、活性基、励起核種（準安定状態）、光子などが含まれます。プラズマ表面処理装置は、これらの活性成分の特性を利用して試料表面を処理し、洗浄、改質、フォトレジストのアッシングなどの目的を達成します。
プラズマ洗浄機の構造は、主に制御ユニット、真空チャンバー、真空ポンプの 3 つの主要部分に分かれています。
プラズマ洗浄の利点は次のとおりです。
I) プラズマ洗浄後、洗浄対象物は乾燥しており、更なる乾燥を必要とせずに次工程へ送ることができるため、プロセスライン全体の処理効率を向上させることができます。
2) プラズマ洗浄により、人体に有害な溶剤による害を回避できるほか、湿式洗浄で洗浄対象物が損傷しやすいという問題も回避できます。
3) トリクロロエタンなどのODS（有機溶剤）などの有害溶剤の使用を避けるため、洗浄後に有害な汚染物質が発生しません。そのため、この洗浄方法は環境に優しいグリーン洗浄方法と言えます。世界が環境保護に強い関心を寄せる中、この重要性はますます高まっています。
4) 電波領域の高周波によって生成されるプラズマは、レーザーなどの直接光とは異なります。プラズマは指向性が小さいため、対象物の微細な穴や凹部にも浸透して洗浄できるため、洗浄対象物の形状をあまり考慮する必要がありません。さらに、これらの洗浄困難な箇所における洗浄効果は、フロン洗浄と同等、あるいはそれ以上です。
5) プラズマ洗浄を用いることで洗浄効率が大幅に向上します。洗浄プロセス全体は数分以内に完了するため、高い歩留まりを実現できます。
6) プラズマ洗浄に必要な真空度は約100Paであり、この洗浄条件は容易に達成できます。そのため、本装置の設備コストは高くなく、洗浄プロセスでは高価な有機溶剤を使用する必要がないため、従来の湿式洗浄プロセスよりも全体的なコストが低くなります。
7) プラズマ洗浄では洗浄液の輸送、保管、排出が不要なので、生産現場を清潔で衛生的に保つことが容易になります。
8) プラズマ洗浄は、処理対象を問わず、金属、半導体、酸化物、ポリマー材料（ポリプロピレン、ポリ塩化ビニル、ポリテトラフルオロエチレン、ポリイミド、ポリエステル、エポキシ樹脂などのポリマー）など、様々な材料を処理できます。そのため、耐熱性および耐溶剤性材料に特に適しています。さらに、材料全体、部分的、または複雑な構造を選択的に洗浄できます。
9) 洗浄・除染と同時に、材料自体の表面特性も改善することができます。例えば、表面の濡れ性や膜の密着性を向上させることは、多くの用途において非常に重要です。
