多機能複合ロールツーロール真空コーティング機

機械の簡単な説明

異なるコーティング装置を設置できる新しいタイプのコーティング装置です。

単一チャンバー内で複数のコーティング技術を同時に実現することで、より幅広いプロセスレシピを実現し、より多くのコーティング機能を実現します。スパッタリング技術＋蒸着メタライジング、スパッタリング技術＋PECVD、スパッタリング技術＋アーク技術、イオンビームコーティング＋スパッタリング技術などの組み合わせが可能です。

機械の簡単な説明

。品質が安定していて、大容量
。コーティング速度が速く、膜の均一性が良好
。コーティング機能の両方または単一の機能を選択できます
。最適化された設計で、操作やメンテナンスが簡単です。
。基板幅は350mmから2050mmまで
。低い運用コスト

技術的パラメータ

シリアル	JRCW、JRCP、JRCL
テクノロジー	スパッタリング+蒸発金属化、スパッタリング+PECVD、スパッタリング+アーク、イオンビームコーティング+スパッタリング、そしてtc。
チャンバーサイズ	コーティングチャンバーはさまざまな要求に応じて設計できます
基板材料	PET / BOPP / PEN / PI / PC /PE などの有機薄膜フィルム、繊維布、紙ロール、フォーム。
基板幅範囲	さまざまな技術要求に応じて設計可能
コーティングフィルム	Cu、Al、Ag、Cr、Ni、Au、Mo、Si、ITO、Cなどの導電性フィルム、NiCr、NiCu、InSnなどの合金フィルム、SiO2、Nb2O5、Al2O3、CrO、TiO2、NiO、CuO、SiNx、ZnOなどの誘電体フィルム、AFコーティングなどの機能フィルム
真空システム	真空システムは、国際的に有名なブランドまたは中国の有名なブランドの分子ポンプ（または拡散ポンプ）、ポリコールド、機械ポンプなどを選択します。

応用分野

この機械は、リチウム電池複合銅箔、複合アルミ箔、金属リチウムコーティング、C フィルムコーティング、FCCL (フレキシブル銅張積層板)、透明導電フィルム、EMI、太陽電池吸収層/電極層、高バリアフィルム、光学フィルム、熱フィルム、高反射フィルム、AF フィルムなど、多くの業界で広く使用されています。