電子ビーム蒸着光学コーティング装置
機械の簡単な説明
電子ビーム蒸着光学コーティング装置は、電子銃蒸着技術を採用した高効率モノブロックタイプの装置です。垂直型または水平型の構成が可能で、光学多層膜の成膜用に特別に設計されています。お客様のご要望に応じて、垂直型または水平型の構成で提供できるため、さまざまな生産環境やスペース要件に適応できます。電子ビーム加熱技術を採用することで、材料を蒸発させ、基板表面に蒸着させることで、高品質の光学膜を作製します。優れた膜品質と均一性により、光学デバイス、電子部品、その他さまざまな先端技術製品の製造に最適です。
機械の簡単な説明
- 。高い技術的成熟度と完全な設備仕様。
- 。電子銃とイオン源を備え、イオン支援蒸着コーティングプロセスを実現します。オンラインのフィルム厚さ監視システムにより、フィルムの厚さをリアルタイムで監視および調整し、各フィルム層の正確な制御を実現し、高い水準の生産要件を満たします。
- 。コーティングチャンバーのサイズは500mmから3500mmまでです。
- 。柔軟な構造設計、垂直または水平構造を顧客の要件に応じて提供でき、さまざまな生産環境に適応し、操作とメンテナンスが簡単です。
- 。高い蒸着速度を誇る電子ビーム蒸着技術は、急速なフィルム蒸着を実現し、生産効率を大幅に向上させ、大量生産の要件に適しています。
技術的パラメータ
| シリーズ | ZZS/ZSWシリーズ |
| テクノロジー | 電子ビーム蒸着 |
| チャンバーサイズ | さまざまなリクエストに応じて設計できます。 |
| 基板材料 | ガラス;プラスチック;樹脂; |
| コーティングフィルム | 反射防止フィルム;高反射フィルム; |
| 真空システム | 真空システムは、国際的に有名なブランドまたは中国の有名なブランドの分子ポンプ(または拡散ポンプ)、ポリコールド、機械ポンプなどを選択します。 |
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