Æsing
Grunnreglur þurrætingar
1. Gasviðbrögð**: Í þurrætingu eru lofttegundir eins og flúoríð og klóríð venjulega notaðar sem ætingarefni. Þessar lofttegundir hvarfast við efnið sem á að æta í plasma ástandi til að mynda rokgjarnar aukaafurðir.
2. Plasmamyndun**: Gasinu er breytt í plasma með útvarpsbylgjuörvun (RF) eða örbylgjuörvun. Í plasma eru gassameindirnar jónaðar til að framleiða sindurefna og jónir sem geta hvarfast við efnið á áhrifaríkan hátt.
3. Sértæk æting**: Þurr æting getur náð mikilli sértækni og getur valið fjarlægt ákveðin efni á meðan önnur efni eru óbreytt. Þetta er mjög mikilvægt fyrir vinnslu flókinna mannvirkja.
Notkun þurrætingar
- Hálfleiðaraframleiðsla: Notað til mynsturflutnings á sílikonplötum til að mynda hringrásir.
- MEMS framleiðsla: Byggingarvinnsla á örrafmagnískum kerfum.
- Optoelectronics: Framleiðsla optoelectronic íhluti eins og leysir og skynjara.
